近年飛躍的な進歩を遂げている半導体集積回路技術の根幹をなす微細MOSトランジスタの超集積化とそのシステム応用に向けて、デバイス・プロセス技術および回路・システム設計技術を総合的に研究することを目的としている。 特に、従来別々に議論していたデバイス技術者と回路システム設計者が一堂に会し、システム集積化技術を多方面から掘り下げ、産学共同研究を推進している。
平成23年11月1日 〜 平成28年10月31日(第4期・5年間)