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プラズマ材料科学第153委員会
   
   
 

趣旨・目的

 

  放電現象を利用するプラズマプロセシングは、先端技術を代表する電子デバイスプロセスの中核技術としてばかりでなく、各種機能性薄膜の作成、超微粒子やクラスター合成、表面処理、材料加工、燃焼、廃棄物処理など 幅広い分野に応用されています。 またレーザーをはじめとする光の発生や利用、化学的に活性なラジカルの生成や計測にも密接に関連し、新たな分野への展開が期待されます。 エネルギー、環境問題、技術の先端化への対処、新材料の創造、新装置開発にあたる研究者および企画部門担当者にとっては、プラズマを基礎から理解し、適切に使いこなすことが今後益々重要になります。産業界においてはプラズマの応用技術が先行し、発生装置やプロセスのメカニズム、制御についての基礎的理解は充分ではありません。
 本委員会では、
 第一に、委員の要望を踏まえ、各種プラズマとその利用に関する最新情報を提供いたします。
 第二に、プラズマの応用の背景にある基礎科学的問題について意見を交換し、討論する場をつくります。プラズマについての理解を深め、材料やデバイス分野ばかりでなく、バイオメディカルなど新たな分野への展開を考えるヒントをもたらします。
 第三に、産官学の研究者、技術者はもとより、海外のプラズマ研究者とも接触する機会を提供し、人的交流と情報交換を積極的に支援いたします。

   
 

研究テーマ

 

    平成22年度研究会テーマ

  • 第96回:プラズマナノ界面の学理と産業応用
  • 第97回:プラズマによるナノ粒子合成と環境浄化技術
  • 第98回:高速・高品質化を実現する先端プラズマ技術(シリコン薄膜形成) 
  • 第99回:非Si系デバイス材料の加工技術
   
 

委員長

 
堀 勝 名古屋大学 大学院工学研究科 教授
   
 

設置期間

   
 

平成25年4月1日〜平成30年3月31日(第5期・5年間) 

   
 

委員の構成(平成28年4月現在)

 
学界 34名 産業界 26名 委員総数 60名
   
 

委員会の成果・特別活動等

 

1. 研究会(年に約6回、うち4回程度は東京で開催)
 材料、プラズマに関連する各種テーマについての講演と討論
2. シンポジウム開催:SPSM(Symposium on Plasma Science for Materials)
 6月中旬に開催する本委員会主催の学術講演と研究発表会、隔年で開催されるAPCPST(Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)と共催。
3. プラズマ材料科学賞
 「プラズマ材料科学」分野において優れた成果をあげた技術者・研究者の表彰
4. 未来開拓学術研究推進事業プロジェクト
 平成9年度に、153委員会元委員長の東京大学大学院工学系・教授 吉田豊信氏を代表として提案した「高次制御ナノスコピック電子材料の熱プラズマ超高速クラスター成膜法創製」が選定され、153委員会のメンバーを中心に研究を推進しました。
 また、平成11年度には、153委員会委員長の名古屋大学大学院工学研究科・教授 高井治氏を代表として、素材プロセシング第69委員会(主管)、薄膜第131委員会と共同提案した「バイオミメティック材料プロセシングの開発」が選定され、各委員会のメンバーと協力し研究を推進しています(平成16年度末終了)。

   
 

委員会のホームページ

 

http://plasma153.org/

   
 

活動状況報告

 
26年度
   
   
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