平成15年度日本学術振興会未来開拓学術研究推進事業研究成果報告書概要



産学協力研究委員会名   マイクロビームアナリシス第141委員会
 
研究プロジェクト名   超コヒーレント電子ビームの開発
 
(英文名)   Development of Ultra-coherent Electron Beam
 
研究期間   平成11年度〜平成15年度

プロジェクト・リーダー名 研究経費 総額  469,197千円
氏名・所属研究機関
所属部局・職名
大島 忠平・早稲田大学
理工学部・教授
内訳 平成11年度 105,248千円
平成12年度 107,500千円
平成13年度 99,449千円
平成14年度 112,000千円
平成15年度 45,000千円

1.研究組織

氏名 所属機関・部局・職 研究プロジェクトでの役割分担
下山  宏 名城大学・理工学部・教授 マルチ電子ビーム評価システム
栗原  進 早稲田大学・理工学部・教授 コヒーレントビームの理論的検討
最上 明矩 日本電子(株)・基礎研究部・部長 装置開発
本間 芳和 NTT基礎研究所・主管研究員 装置開発
大下 昭憲 三重大学・工学部・教授 電子波のコヒーレンス

2.研究計画の概要

 光学分野のレ−ザ−に匹敵する、優れたコヒーレンス(可干渉性)の電子ビ−ムを開発する。波の干渉性は波束のエネルギ−幅と波源の実行的大きさで決まる。現状の電子ビ−ムに比べ、エネルギ−幅で2桁向上させ、波束の大きさでも1桁以上おおきな超コヒーレンス電子ビームを開発する。このために超コヒーレント電子源製造装置とマルチビーム評価装置(マルチエミッタ評価装置)を開発し、これらを駆使して、電子ビームの空間的コヒーレンスおよび、時間的コヒーレンスを定量的に評価し、優れたコヒーレンスをもつ電子ビームを開発するとともに、とともに、マルチ電子ビーム源からの電子放出に対する定量的評価を行なう。また、これらのビームの実用化への指針を確立する。
 1)Nb金属等の超伝導体からの電界放出する電子流の特性(放出パターン、電流変動、エネルギースペクトル、輝度)を調べ、その放出機構について解明する。
 2)ナノ電子源から電界放出する電子流の特性(放出パターン、電流変動、エネルギースペクトル、輝度)を調べ、その放出機構について解明する。
 3)各種マルチ電子ビーム源の電子放出特性(輝度,動作の安定性,寿命など)に対する定量的評価と実用電子源としての検討を行なう。
 これらの成果から、従来の電子波の波束の大きさに比較して、縦横に飛躍的にひろがった波束をもつ電子ビーム(放出する電子源)を開発するとともに、各種の高性能なマルチ電子ビーム源開発のための指針を得る。

3.研究目的

1 電子ビームの時間的コヒーレンスの飛躍的向上
 光学分野のレーザービームに匹敵する、時間的コヒーレンスの極端に優れた、エネルギー幅1meV以下の超コヒーレント電子ビーム源を開発する。
2 電子ビームの空間的コヒーレンスの飛躍的向上
 放出電子波がすべて干渉する横コヒーレンスの極端に優れた超コヒーレント電子ビーム源を開発する。電子波・スプリッターを実現させる。
3 マルチ電子ビームの特性を評価するためのマルチ電子ビーム評価装置を設計・試作して、その空間・時間的コヒーレンスについて定量的評価を行う。
4 マルチ電子ビーム源の輝度・動作の安定性、寿命を定量的に評価する。従来の電子源に飛躍して、桁違いに可干渉性の優れた電子ビーム(超コヒレント電子ビームと呼ぶ)を実現する。


4.研究成果の概要

4−1 研究計画、目的に対する成果
 極低温極高真空下でのコヒ−レント電子放出実験は、世界でも例がなく、本プロジェクトは唯一の研究プロジェクトとして遂行した。その結果は以下のとおりである。
 真空中の電子波のコヒーレンス長(可干渉長)を縦方向に20倍、横方向に5倍以上拡大させる電子源の設計指針を得た。つまり、利用できる真空電子波の波束の大きさを、波の進行方向に20倍、進行方向に垂直な方向に100倍以上拡大できた。
 時間的コヒ−レンスに関して、当初数百倍の向上を目指したが、実際は20倍であった。超伝導エミッター材料を数多く調べたが、Nb金属以外は安定な電子放出条件を見出すことができなかった。また、Nb金属をいろいろ処理したが、ほほ、エネルギ幅の狭い電子波を見出すことができなかった。これは、電子源の動作環境は吸着やイオン衝撃にさらされた厳しい条件であり、表面組成の変化や構造の変化が、必然的に発生し、それに耐えて安定な電子を放出するためには、加熱や電界蒸発などによる自己修復機能が必要不可欠であることを強く認識した。
 本プロジェクトで作製したコヒーレント電子波を4つ重ね合わせて干渉させ、数十本ほぼ一様な強度をもつ超コヒーレントマルチビームを製作した。この電子源は1つの線源から多数本の電子を干渉により作ることで、全体の輝度制御可能な超コヒーレントマルチビーム源の動作原理を示した。また、固体内部からの大きく方向ことなるコヒーレントビームを作る電子ビームスプリッターの可能性を示した。
 マルチ電子ビーム評価装置(マルチエミッタ評価装置)を設計・製作し,各種マルチエミッタの動作状態のリアルタイム観察に世界で初めて成功した。本装置は,マルチエミッタ自体を試料とするエミッション顕微鏡的な構成となっていて,以下の機能が可能である。1.マルチエミッタからの電界放出電子による電界電子放出顕微鏡(FEEM)像。2.電子ビーム照射による反射電子放出(2次電子放出)を利用した低エネルギー反射電子顕微鏡(LEEM)像(ミラー電子顕微鏡 (MEM) 像を含む)。3.UV光照射による光電子放出を利用した光電子放出顕微鏡(PEEM)像。1では,エミッションサイトに関する情報が得られ,2,3では,エミッタやゲート(引出し電極)の電極表面形状の観察が可能である。本装置の最大の特長は、上記のLEEM像とFEEM像の同時観察、あるいはPEEM像とFEEM像の同時観察が可能なことである。これにより,マルチエミッタを試料として用いる場合には、全エミッタのうち具体的にどのエミッタが実際に動作していて、どのエミッタが動作していないのか、また、動作している個々のエミッタからの放出電流の安定性・不安定性,あるいは斜方向に電子が放出していることを示すエミッタなども一目瞭然にリアルタイムで具体的に特定できることを実正した。現在,装置の解像度も数十nmを得ているが,引き続き,今後,試料ホルダ(特に傾斜機能),電源系統の改良を行ない,10 nm以下の解像度を目指したい。


4−2 研究計画、目的外の成果
1.新超伝導材料MgB2の製作研究過程で新物質を発見した。六方晶BC3ハニカム・エピタキシャル膜が巨視的スケールの大きさの表面に一様に作製可能となった。従来は、この材料は5nm程度の結晶しか報告されていない。この知見は現在、飛躍的に拡大した新炭素系(ホウ素、窒素系の材料群)の研究分野に新たな豊富な可能性を加えたことになる。さらに、グラフェン単原子とh-BN層が、交互に積層したエピタキシャル構造も創製した。
2.真空中の導体系に対する電位・電界の高速・高精度計算のための一般3次元境界電荷法ならびに誘電体(絶縁体)を含む系に対しても適用可能な複合誘電体系に対する一般3次元境界電荷法を開発した。一般3次元境界電荷法は,非回転対称系における電位・電界の高精度計算に不可欠の数値計算法であり,非回転対称な非近軸電子光学系の設計・開発研究の基礎となるものである。この計算手法は,「マルチ電子ビーム評価装置」の基本設計の過程において開発に成功した研究成果である。一般3次元境界電荷法の応用例として,(1)電界放出用の高性能マルチエミッターとして注目を集めている高配向性垂直成長カーボンナノチューブ(CNT)の先端電界強度分布の計算,(2)導体と真空と誘電体とが接する3重接合点(トリプルジャンクション)における,しばしば異常放電の原因となっている電界の異常集中の様子を具体的に明らかにする計算,などを行なった。この種の計算は,従来より、一般に用いられている有限要素法では極めて困難であるけれども,本手法によれば,高精度の電位・電界計算を困難なく行なうことが可能であることが示された。このことは,本手法が非回転対称電子光学系の設計・開発研究に極めて強力なツールであることを示すものである。
3.前記の「複合誘電体系に対する改良形一般3次元境界電荷法」の開発過程において,磁性体系と誘電体系の類似性を利用することにより,透磁率が非常に高い磁性体を有する系においても、高精度な磁界計算が可能な一般3次元境界磁荷法の開発に成功し,具体的な応用例についてこれを実証した。


4−3 研究成果の展望
 電子ビームのコヒーレンスに関する定量的測定を行い、電子源の冷却によって、時間コヒーレンスと空間コヒーレンスが向上することを実証した。金属のフェルミ準位の状態密度が、トンネル電流のエネルギ幅を決めることが、トンネル分光スペクトルで知られていたが、電界放出ではNb金属でのみ観測され、他の超伝導材料(高温酸化物、MgB2、A15化合物)では、成功していない。しかし、Nb超伝導金属の場合、条件を選ぶとエネルギ幅が、最小10meVに減少し、従来の電子源の幅300meVに比較すると、約20倍の向上が確認された。
 また、温度を下げることで、空間的コヒーレンスも向上した。室温動作のタングステン電子源を、液体窒素温度に下げることによって、約5倍の向上することを実証し、さらに、液体ヘリウム温度に下げることで、10倍近くの向上が予想される。カーボンナノチューブからの電子波では、100倍以上の向上を確認した。 
 電子波のコヒーレントの1桁向上は、波束の1桁大きな広がりを意味し、電子波干渉を利用した電子回折やホログラフィーによる3次元像の再生、単原子分析できる分析電子顕微鏡の性能向上に貢献する。また、また大きな波束の電子波は、現代物理学の中心領域である量子力学に基礎に関する新たな検証実験を可能し、新しい分野を切り開く可能性を含む
1.電子干渉―電子は量子として、質量と電荷をもち、かつ干渉現象を示すという不可思議な現象として多くの量子力学では、取り扱っているが、一方、確率過程の量子化現象として干渉効果も含めて自然を記述する描像も提案されている(ネルソンの量子力学)。この描像の優位性の実証は、いままでの量子力学の有名な問題点(パラドックス、例えば、シェレデンガーの猫、光子の裁判、神のサイコロ)の解決につながる。
2.電子干渉―2つ以上の量子の波束の重なりは、パウリの排他則やボーズ・アインシュタイン凝縮を生む量子力学特有の量子相関である。ボソンの2光子干渉実験はHanruy Brown Twissの実験として、星の光、レーザ、X線を使って実証されているが、フェルミオンの実験は開始されたばかりである。従来より、1桁広い波束の電子波は、より信頼性の高い実証実験を可能とする。
 一方,マルチエミッタは,次世代フラット・パネル・ディスプレイ用電子源や,宇宙通信用の大出力超高周波管用電子源,あるいは次世代高スループットの電子線リソグラフィー用電子源として,また,本研究でその実現を目指している超コヒーレントマルチ電子源として,極めて重要な要素技術として位置づけることができる。しかしながら、その重要性にも拘わらず,現状ではマルチエミッタの性能評価手段は極めて不十分である。真の性能評価とは,評価実験の結果を,製造技術・製造プロセスにフィードバックできるものでなければならない。CNTを含むマルチエミッタに関しては,現在,多くの企業や研究機関で製作と評価実験が行なわれているが,評価実験のほとんどは主として電流-電圧特性にとどまっていて,真の意味で製造技術・製造プロセスにフィードバックできるものとなっていない。本研究で開発した「マルチエミッタ評価装置」による各種マルチエミッタの動作状態のリアルタイム観察は,従来の評価実験の欠点を克服することのできる評価法であるということができる。例えば、フィールドエミッタアレイの動作に関して言えば、全エミッタのうち具体的にどのエミッタが実際に動作していて,どのエミッタが動作していないのか,また、動作している個々のエミッタからの放出電流の安定性・不安定性なども具体的に特定可能であるので,これらの結果を製造技術・製造プロセスにフィードバック可能である。実際に,学会における本「マルチエミッタ評価装置」の発表後には,この分野の多くの企業から各種マルチエミッタの性能評価の依頼とともに,共同研究の申し込みがきている。


4−4 本事業の趣旨に鑑み、果たした役割
 学術的な展開の可能性は、4−3で述べた。以下に、産業分野の新しい応用の可能性について述べる。
1.コヒーレントの1桁以上の向上は、透過型電子顕微鏡の性能向上に大きく寄与します。長い間の夢である、生体1分子を観測する生物用の非収差電子顕微鏡の開発が大阪大学で開始されています。この電子源の搭載計画が進んでおります。
2.従来の電子顕微鏡の弱点の1つである3次元構造解析が可能な新しい電子回折実験の精度が向上します。プログラムがスタンフォード大学の研究者と検討が開始されました。
3.ナノ電子源からのコヒーレント電子を磁場との相互作用が議論されており、磁気センサーへの検討が、磁気記録の専門家と開始されました。
4.微小ナノ電子源と、マイクロ電子光学系との組み合わせにより、極微小走査型電子顕微鏡の実現が可能となります。
5.電子波の干渉現象を利用したマルチコヒーレントビームの動作原理が示されました。電子線リソグラフィーのスループットの向上が可能となります。これにより,従来の シングルフィールドエミッタ による干渉ホログラフィー法に代わって,マルチフィールドエミッタ による多波干渉ホログラフィー法という画期的な電子線干渉実験技術が実現することになる。
6. マルチエミッタの性能向上により,
 1) 次世代フラット・パネル・ディスプレイの代表であるフィールド・エミッション・ディスプレイの実用化が可能となる。
 2) 光リソグラフィー法に代わる次世代超微細加工用電子線リソグラフィーのスループットの向上が可能となります。
 3) 宇宙通信用大出力超高周波管の性能向上につながる。

5.キーワード

(1)コヒーレント電子ビーム (2)ナノ電子源 (3)極低温電子源
(4)電子顕微鏡 (5)電子回折 (6)電子源アレイ
(7)LEEM/PEEM/FEEM (8)リモルヂング (9)境界電荷法

6.研究成果発表状況

A.学術雑誌論文(Journal Papers)
全著者名 論文名
中島健, 三浦大介, 山村健太, 二瓶好正, 大島忠平 大立体角エネルギ−分析器の試作(II)
学術雑誌名 ページ 発行年
真空 47 1 2-8 2004

全著者名 論文名
K.Nakajima,D.Miura,K.Yamamura, Y.Nihei, and C.Oshima Large-Solid Angle Electron Spectrometer
学術雑誌名 ページ 発行年
Vacuum 47 1 2-8 2004

全著者名 論文名
C.Oshima, K.Matsui, T.Kona, Y.Mogami, T. Yamashita, Y. Saito, K.Hata and A.Takakura Energy Spectra of Field Emission Electrons from multi-walled carbon nanotubes
学術雑誌名 ページ 発行年
J.Vac.Sci.Techonol. B21 4 1700-1704 2003

全著者名 論文名
A.Takakura, K.Hata, Y.Saito, K.Matsuda, T.Kona and C.Oshima Growth of Carbon Nanotubes Characterized by Field Electron Emission
学術雑誌名 ページ 発行年
Ultramicroscopy 95 2 139-143 2003

全著者名 論文名
Y.Yamashita, K.Matsuda, T.Kona, Y.Mogami, M.Komaki, Y.Murata and C.Oshima Surface and Coherent electron emission from carbon nanotubes; asymmetric Young's Interference Fringes
学術雑誌名 ページ 発行年
Interface Analysis 35 0 113-116 2003

全著者名 論文名
C.Oshima Coherent Electron Evaluation of Transverse Coherence of Electron Waves Emitted from Low Temperature Tungsten tips. Emission from Carbon Nanotubes and Nb superconductor
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Phys. Society of Japan 17 2 24-29 2003

全著者名 論文名
B.Cho, T.Ichimura, R.Shimizu and C.Oshima Coherence Length of the electron waves emitted from tungsten tips at RT and 78 K?
学術雑誌名 ページ 発行年
Phys. Rev. Lett. ??? ??? ??? 2004 (In press)

全著者名 論文名
大島忠平, 山下哲胤, 市村崇, 趙福來 ナノ領域から電界放出される電子波の干渉
学術雑誌名 ページ 発行年
固体物理 38 1 25-31 2003

全著者名 論文名
C.Oshiam, T.Yamashita, T.Ichimura, B.Cho Coherent Electron Waves emitted from Nano Ares
学術雑誌名 ページ 発行年
Solid States Physics 38 1 25-31 2003

全著者名 論文名
T.Tanaka, A.Ito, A.Tajima, E.Rokuta and C.Oshima Hetero-epitaxial system of h-BN/ Monolayer graphene on Ni(111)
学術雑誌名 ページ 発行年
Surface Review Letter 10 4 697-703 2003

全著者名 論文名
T.Tanaka A.Ito, A.Tajima, E.Rokuta and C.Oshima Hetero-epitaxial system of h-BN/ Monolayer graphene on Ni(111)
学術雑誌名 ページ 発行年
Surface Review Letter 10 5 721-726 2003

全著者名 論文名
C.Oshima, K.Mastuda, T.Kona, Y.Mogami, Y.Murata and T.Yamashita Young's Interference of Electrons in Field Emission Patterns
学術雑誌名 ページ 発行年
Phys. Rev. Lett. 88 3 038301-1-038301-4 2003

全著者名 論文名
C. Morita, S. Arai, Y. Enomoto, K. Miyauchi, and H. Shimoyama Development of Remote Control and Monitoring System for the FE Gun System of HVEM
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Electron Microsc. V52 3 245-254 2003

全著者名 論文名
T T.Yamashita, K.Mastuda, T.Kona, Y.Mogami, M.Komaki, Y. Murata and C.Oshima Coherent electron emission from carbon nanotubes, Yong's interference in the emission patterns
学術雑誌名 ページ 発行年
Surface Sci. 514 1-3 283-290 2002

全著者名 論文名
T.Kawasaki, D.Sakai, H.KIshimoto,A.A.Akbar, T.Ogawa and C.Oshima Double atomic layers of grahene/monolayer h-BN on Ni(111) studied scanning tunnelling microscopy and scanning tunneling spectroscopy
学術雑誌名 ページ 発行年
Surface Review Letters 9 3 1459-1464 2002.

全著者名 論文名
T.Tanaka, A.Tajima, R.Moriizumi, M.Hosoda, R. Ohno, E.Rokuta and C. Oshima Carnon nano-ribbons and their edge phonons
学術雑誌名 ページ 発行年
Solid State Communications 123 1-2 33-36 2002

全著者名 論文名
K.Yuasa, A. Shimoi, I.Ohba and C.Oshima Modified Fower-Nordheim field emission formulae from a nonplanar emitter model
学術雑誌名 ページ 発行年
Surafce Sci. 520 1-2 18-28 2002

全著者名 論文名
M.Tagawa, M.Kawasaki, and C.Oshima TMC(100) surface Relaxation studied with Low-energy-Diffraction Intensity Analysis
学術雑誌名 ページ 発行年
Surf. Sci. 517 1-3 59-64 2002

全著者名 論文名
大島忠平 カーボンナノチューブからのコヒーレント電子ビームの放出
学術雑誌名 ページ 発行年
応用物理 71 2 332-335 2002

全著者名 論文名
C.Oshiam Coherent Electron Emission from Carbon Nanotubes
学術雑誌名 ページ 発行年
Applid Physics 71 2 332-335 2002

全著者名 論文名
K.Nagaoka, T.Jamneala, M.Grobis, M.F.Crommie Temperature dependence of the single Kondo impurity
学術雑誌名 ページ 発行年
Phys. Rev. Lett. 88 7 077205-1-077205-4 2002

全著者名 論文名
V.Madlhavan, T.Jamneala, K.Nagaoka and M.F. Crommie. ???
学術雑誌名 ページ 発行年
Phys. Rev. B66 21 212411-1-212411-4 2002

全著者名 論文名
T. Ikawa, C. D. Keum, H. Takagi, M. Tsuchimori, O. Watanabe, W. Mori, M. Harada, M. Tawata and H. Shimoyama Near Field Optical Recording on Azopolymer Using a Sub-Microsecond Pulse
学術雑誌名 ページ 発行年
IEICE Trans. Electron. E85-C 6 1287-1290 2002

全著者名 論文名
森 渉,多和田 昌弘,下山 宏,井川 泰爾,土森 正昭,渡辺 修 走査型近接場光学顕微鏡を用いたアゾポリマへのナノ加工
学術雑誌名 ページ 発行年
電子情報通信学会論文誌 J85-C 12 1134-1140 2002

全著者名 論文名
W. Mori, M. Tawata, H. Shimoyama, T. Ikawa, M. Tsuchimori and O. Watanabe Nano-fabrication of azopolymer by scanning near-field optical microscope
学術雑誌名 ページ 発行年
The Transaction of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers J85-C 12 1134-1140 2002

全著者名 論文名
T.Kawasaki, D.Sakai, H.Kishimoto, A.A. Akbar, T.Ogawa and C.Oshima Adsorption and desorption process of benzene on Si (111) studied by scanning tunneling microscopy
学術雑誌名 ページ 発行年
Surface and Interface Analysis 31 0 126-130 2001

全著者名 論文名
M.Tagawa, M.Okuzawa, T.Kawasaki, C.Oshima, S. Otani and A.Nagashima Atomic Structure of TiC(100) Surface Studied with Low-Energy Electron Diffrcation Intensity Analysis
学術雑誌名 ページ 発行年
Phys. Rev. B63 7 073407-1-4 2001

全著者名 論文名
C.Oshima, K.Matsuda, T.Kona, Y.Mogami, Y. Murata and Y. Yamashita ???
学術雑誌名 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 40 3 L1-L3 2001

全著者名 論文名
K. Nagaoka、H.Fujii、K.Matsuda, M.Komaki, Y. Murata and C.Oshima Field Emission Spectroscopy from field-enhanced diffusion-growth nano-tips
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Surf. Sci. 182 1-2 12-19 2001

全著者名 論文名
石川剛, 後藤正博, 中島健, 岩井秀夫, 二瓶好正, 大島忠平 大立体角電子エネルギ−分光器
学術雑誌名 ページ 発行年
真空 44 1013-1017 2001

全著者名 論文名
T.Ishikawa, M.Goto, K.Nakajima, H.Iwai, Y.Nihei, C.Oshima Large Solid angle Electron Anayzer
学術雑誌名 ページ 発行年
Vacuum(Journal of Japanese Vacuum Society) 44 1 1013-1017 2001

全著者名 論文名
Y. Ando, X. Zhao and H. Shimoyama Structure analysis of purified multiwalled carbon nanotubes
学術雑誌名 ページ 発行年
Carbon 39 4 569-574 2001

全著者名 論文名
H. Murata, T. Ohye and H. Shimoyama Improved 3D boundary charge method for high-accuracy caluculation of potenntial and electric field in composite dielectric system
学術雑誌名 ページ 発行年
Proc. SPIE 4510 ??? 107-118 2001

全著者名 論文名
H. Murata, H. Shimoyama and T. Ohye Computer simulation of electric field analysis for vertically aligned carbon nanotubes (1): simulation method and computing model
学術雑誌名 ページ 発行年
Proc. SPIE 4510 ??? 156-162 2001

全著者名 論文名
H. Shimoyama, H. Murata, and T. Ohye Computer simulation of electric field analysis for vertically aligned carbon nanotubes (2): electric field on the nanotube apex
学術雑誌名 ページ 発行年
Proc. SPIE 4510 ??? 163-171 2001

全著者名 論文名
Y. Ando, X. Zhao and H. Shimoyama Structure analysis of purified multiwalled carbon nanotubes
学術雑誌名 ページ 発行年
Carbon 39 4 569-574 2001

全著者名 論文名
H. Murata, T. Ohye and H. Shimoyama Improved 3D boundary charge method for high-accuracy caluculation of potenntial and electric field in composite dielectric system
学術雑誌名 ページ 発行年
Proc. SPIE 4510 ??? 107-118 2001

全著者名 論文名
H. Murata, H. Shimoyama and T. Ohye Computer simulation of electric field analysis for vertically aligned carbon nanotubes (1): simulation method and computing model
学術雑誌名 ページ 発行年
Proc. SPIE 4510 ??? 156-162 2001

全著者名 論文名
H. Shimoyama, H. Murata, and T. Ohye Computer simulation of electric field analysis for vertically aligned carbon nanotubes (2): electric field on the nanotube apex
学術雑誌名 ページ 発行年
Proc. SPIE 4510 ??? 163-171 2001

全著者名 論文名
松田孝平, 山下哲胤, 大島忠平 超コヒ−レント電子ビ−ム
学術雑誌名 ページ 発行年
電子顕微鏡 35 272-275 2000

全著者名 論文名
K.Matsuda, T.Yamashita, C.Oshima Ultra Coherent Electron Beams
学術雑誌名 ページ 発行年
Electron Microscopy 35 272-275 2000

全著者名 論文名
C.Oshima, A.Itoh,E.Rokuta, T.Tanak,K.Yamashita,and T.Sakurai A hetero- epitaxial- double- atomic layer system of monolayer Graphite/monolayer h-BN on Ni(111)
学術雑誌名 ページ 発行年
Solid State Communications 116 1 37-40 2000

全著者名 論文名
C.Oshima, T.Tanaka, A. Itoh,E. Rokuta, and T. Sakurai A hetero-epitaxial Multi-Atomic Layer system of graphene and h-BN
学術雑誌名 ページ 発行年
Surface Reviews and Letters 5&6 0 521-526 2000

全著者名 論文名
大野僚子, 細田真希, 奥沢昌彦, 田川美穂, 大島忠平, 大谷茂樹 Pt(755) とTiC(755) 上に成長させた単原子層グラファイトの電子状態
学術雑誌名 ページ 発行年
炭素 195 0 400-404 2000

全著者名 論文名
R.Ohno, M.Hosoda, M.Okuzawa, M.Tagawa, C.Oshima, S.Otani Elctronic States of Monolayer Graphite on Pt(755) and TiC(755)
学術雑誌名 ページ 発行年
Carbon 195 0 400-404 2000

全著者名 論文名
D.Farias, K.H.Rieder, A.M.Shikin, V.K.Adamchuk, T.Tanaka, C.Oshima, Modification of the surface phonon dispersion of a graphite monolayer adsorbed on Ni (111) caused by intercalation of Yb, Cu and Ag
学術雑誌名 ページ 発行年
Surface Science 454-456 4 437- 441 2000

全著者名 論文名
下山 宏,鷹岡昭夫,本田敏知,松井 功 超高圧電子顕微鏡(HVEM)
学術雑誌名 ページ 発行年
電子顕微鏡 35 1 18-21 2000

全著者名 論文名
H. Shimoyama, A. Takaoka, T. Honda and I. Matsui High voltage electron microscope
学術雑誌名 ページ 発行年
Electron Microscopy 35 1 18-21 2000

全著者名 論文名
H. Kojima, M. Tawata, T. Takabe and H. Shimoyama Photosynthetic Activity Measurement of Plants Using Photoacoustic Spectroscopy Combined with Confocal Scanning Microscopy
学術雑誌名 ページ 発行年
IEICE Trans. Electron. E83-C 7 1142-1148 2000

全著者名 論文名
M. Takizawa, S. Bandow, M. Yudasaka, Y. Ando, H. Shimoyama and S. Iijima Change of Tube Diameter Distribution of Single-Wall Carbon Nanotubes Induced by Changing the Bimetallic Ratio of Ni and Y Catalysts
学術雑誌名 ページ 発行年
Chemical Physics Letters 326 ??? 351-357 2000

全著者名 論文名
C. Morita, S. Arai, T. Onai, K. Miyauchi and H. Shimoyama Development of Battery Charging System for the FE Gun System of HVEM
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Electron Microsc. 49 6 745-752 2000

全著者名 論文名
C.Oshima, H.Fujii, T.Yamashita, S.Uchi yama, M.Yamada、K.Nagaoka, and T.Sakurai Construction of a low temperature gun and high resolution emission spectra
学術雑誌名 ページ 発行年
Applied Surface Science 146 1-4 143 147 1999

全著者名 論文名
E.Rokuta, Y.Hasegawa, A.Itoh, K.Yamas hita, T.Tanaka, S.Otani and C.Oshima Vibrational Spectra of h BN and Graphite films on Facetted Ni(755)
学術雑誌名 ページ 発行年
Surface Science 427 428 33 97 101 1999

全著者名 論文名
C.Oshima Monochromatic field electron emission from a Nb superconductor
学術雑誌名 ページ 発行年
Ultramicroscopy 78 1-4 27 32 1999

全著者名 論文名
K.Nagaoka, T.Yamashita, M.Yamada, H.Fujii, R.Seo , K.Mastuda, S. Uchiyama and C.Oshima Field emission energy spectra from superconducting and normal states of an Nb tip
学術雑誌名 ページ 発行年
Ultramicroscopy 79 1-4 51 57 1999

全著者名 論文名
X.Zhao, M. Ohkohchi, H. Shimoyama and Y. Ando Morphology of carbon allotropes prepared by hydrogen arc
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Crystal Growth 198-199 1 934-938 1999

全著者名 論文名
下山 宏 光高温計および放射温度計を用いたW細線温度の測定
学術雑誌名 ページ 発行年
表面科学 20 3 210.211 1999

全著者名 論文名
H.Shimoyama Temperature measurement of tungsten thin wire by means of an optical pyrometer and a radiation thermometer
学術雑誌名 ページ 発行年
Journal of the Surface Science Society of Japan 20 3 210.211 1999

全著者名 論文名
安藤 義則,趙 新洛,下山 宏 多層カーボンナノチューブの作製法とその物性
学術雑誌名 ページ 発行年
名城大学 理工学部 研究報告 39 ??? 31-41 1999

全著者名 論文名
Y. Ando, X. Zhao and H. Shimoyama Production method and physical properties of multiwalled carbon nanotubes
学術雑誌名 ページ 発行年
Reports of the Faculty of Science and Technology, Meijo University 39 ??? 31-41 1999

全著者名 論文名
Y. Ando, X. Zhao, H. Shimoyama, G. Sakai and K. Kaneto Physical properties of multiwalled carbon nanotubes
学術雑誌名 ページ 発行年
Intern. J. Inorganic Materials 1 1 77-82 1999

全著者名 論文名
Y.Ando, X.Zhao and H. Shimoyama Carbonaceous Products by Hydrogen Arc Dischage
学術雑誌名 ページ 発行年
Crys. Res. Technol. 34 5-6 597-603 1999

全著者名 論文名
X. Zhao, T. Okazaki, A. Kasuya, H. Shimoyama and Y. Ando Optical Emission Spectra during Carbon Nanotube Production by Arc Discharge in H2, CH4 or He Gas
学術雑誌名 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys 38 10 6014-6016 1999

全著者名 論文名
小嶋 秀夫,多和田 昌弘,下山 宏,原田 匡也,加藤 剛 レーザ光を用いた新しい顕微鏡
学術雑誌名 ページ 発行年
日本レーザ−医学会誌 20 4 357?366 1999

全著者名 論文名
H. Kojima, M. Tawata, H. Shimoyama, M. Harada and T. Kato ???
学術雑誌名 ページ 発行年
Journal of Japan Society for Laser Surgery and Medicine 20 4 357-366 1999

C.著書(Books)
全著者名 書名
大島忠平 コヒーレント電子ビームの開発
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
未来材料 2 1 6-11 2002

全著者名 書名
C.Oshima Development of coherent electron beams
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
Future Materials 2 1 6-11 2002

全著者名 書名
Y.Saito, K.Hata, A.Takakura, K.Matsuda, T.KOna and C.Oshima Field Emission Microscopy of Carbon Nanotubes, ed by E. Osawa “ Perspectives of Fullereence Nantotechnology
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
Kluwer Academic Publishers ??? ??? 49-55 2002

全著者名 書名
小間篤編(共著者多数) 表面物性測定(実験物理学講座10)
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
丸善 ??? ISBN4-621-04825-2 c3342 ??? 2001

全著者名 書名
Ed. By A.Koma Measurement of Surface Properties ( Series 10 of Experimental Physics)
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
Maruzen ??? ISBN4-621-04825-2 c3342 ??? 2001

全著者名 書名
大島忠平 なぜ炭素は電子放出特性が優れているか?
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
炭素 188 1 155-152 1999

全著者名 書名
C.Oshima Why does carbon compounds show the useful emission Properties?
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
Carbon 188 1 155-156 1999

全著者名 書名
大島忠平 超伝導Nb金属からの電界電子放出
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
FSST NEWS 74 0 16 20 1999

全著者名 書名
C.Oshima Field Elcctron Emission from Nb Superconductor
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
FSST NEWS 74 0 16-20 1999

D.特許等取得状況
特許等名称 発明者名
ナノ電子源製造法 大島忠平
権利者名 種類 出願番号 出願年月日 設定登録年月日
日本学術振興会・早稲田大学 ??? 特願2000−159335 平成12年5月30日 ???

特許等名称 発明者名
新型エネルギ−分析器 大島忠平
権利者名 種類 出願番号 出願年月日 設定登録年月日
日本学術振興会・早稲田大学 ??? 特開2001−338606 平成15年7月18日 ???

特許等名称 発明者名
コヒ−レント電子源および前記コヒ−レント電子源を適用した装置 大島忠平
権利者名 種類 出願番号 出願年月日 設定登録年月日
日本学術振興会・早稲田大学 ??? 特開2002−279921 平成15年8月1日 ???

特許等名称 発明者名
マルチエミッタ評価方法,及びマルチエミッタ評価装置 下山 宏
権利者名 種類 出願番号 出願年月日 設定登録年月日
日本学術振興会・名城大学 ??? 特願2003-323517 平成15年9月16日 ???


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