平成13年度日本学術振興会未来開拓学術研究推進事業研究成果報告書概要



研究推進分野名 革新的未来型エネルギー生成・変換の方式、材料、システム化
 
研究プロジェクト名 カーボン系新素材を用いた太陽電池の研究
 
(英文名) Study of New Carbon-Based Materials and Solar Cells
 
研究期間 平成9年度 〜 平成13年度

プロジェクト・リーダー名 研究経費 484,129千円
氏名・所属研究機関
所属部局・職名
山口真史 ・豊田工業大学 ・大学院工学研究科 ・教授 内訳 平成 9年度130,914千円
平成10年度122,275千円
平成11年度97,940千円
平成12年度78,000千円
平成13年度55,000千円

1.研究組織

氏名 所属機関・部局・職 研究プロジェクトでの役割分担
小島 信晃 豊田工業大学・大学院工学研究科・助手 C60の禁制帯幅、導電型とキャリア濃度の制御、 C60/アモルファスカーボン複合膜の作製
梅野 正義 中部大学・工学部・教授 アモルファスカーボン太陽電池の作製と特性評価
曽我 哲夫 名古屋工業大学・大学院工学研究科・助教授 アモルファスカーボンの生成と禁制帯幅、導電型とキャリア濃度の制御
神保 孝志 名古屋工業大学・大学院工学研究科・教授 アモルファスカーボンの生成と禁制帯幅、導電型とキャリア濃度の制御
江川 孝志 名古屋工業大学・極微構造デバイス研究センター・教授 アモルファスカーボン太陽電池の作製と特性評価
林 靖彦 名古屋工業大学・大学院工学研究科・助手 アモルファスカーボンの生成と禁制帯幅、導電型とキャリア濃度の制御(H.12.4.1〜)
Kalaga Murali Krishna 豊田工業大学・大学院工学研究科・日本学術振興会研究員(H11.6.1〜H12.11.15) アモルファスカーボンの生成と禁制帯幅、導電型とキャリア濃度の制御(〜H12.11.15)
Tarun Sharda 名古屋工業大学・極微構造デバイス研究センター・非常勤講師(H11.4.1〜) アモルファスカーボン太陽電池の作製と特性評価(H11.4.1〜)
Kannan Lakshmi Narayanan 豊田工業大学・大学院工学研究科・日本学術振興会研究員 C60の禁制帯幅、導電型とキャリア濃度の制御、 C60太陽電池の作製と特性評価(H10.5.31〜H11.5.11 , H12.4.12〜H14.3.16)
Oliver Goetzberger 豊田工業大学・大学院工学研究科・日本学術振興会研究員 C60/アモルファスカーボン複合膜の作製と特性評価(H10.6.1〜H12.7.25)
Nethaji Dharmarasu 豊田工業大学・大学院工学研究科・日本学術振興会研究員 C60の禁制帯幅、導電型とキャリア濃度の制御、 C60太陽電池の作製と特性評価(H11.9.1〜H12.3.31)
Prasad Manjusri Sirimanne 豊田工業大学・大学院工学研究科・日本学術振興会研究員 アモルファスカーボン太陽電池の作製と特性評価(H13.4.1〜H14.3.31)
Matthew Boreland 豊田工業大学・大学院工学研究科・日本学術振興会研究員 C60の欠陥評価(H13.9.1〜H13.12.29)

2.研究計画の概要

クリーンなエネルギー源として、太陽電池を用いた太陽エネルギーの利用に大きな期待が寄せられている。現在、太陽電池用材料に結晶シリコンが主に用いられているが、太陽電池の大規模普及のためには、さらなる光電変換効率の向上、低コスト化、材料の安定供給の課題克服が必要である。太陽電池の低コスト化、高効率化に向け、新素材の開発が切望されている。
本研究プロジェクトでは、自然界を循環する再生可能材料であり、また多様な形態と物性を取り得るカーボン系材料に焦点を当てて、ブレークスルーを実現するための次世代太陽電池の開発を目指して研究を進めた。高効率太陽電池用材料に要求される特性として、@禁止帯幅が1.4〜1.6 eV(単一接合型の場合)であること、A光吸収係数が大きいこと(=薄膜で、充分な量の光を吸収できること)、B伝導型、導電率制御が容易であり、良好なpn接合が形成できること、C高品質で低抵抗材料であること、等が必要である。そこで、フラーレン、アモルファスカーボンにおけるこれらの物性を制御する技術を開発し、薄膜太陽電池としての応用を図るため、以下の研究課題に取り組んだ。
(1) フラーレン、アモルファスカーボンの電気的・光学的特性の広範囲制御に関する研究
@炭素化合物の基礎物性の解明、A分子線堆積法やプラズマCVDによるカーボン系新素材薄膜成長、Bイオン注入やラジカルビームによる不純物ドーピングや改質技術の研究
(2) カーボン系新素材を用いた太陽電池の研究
@欠陥の不働態化、Aヘテロ接合、ホモ接合の研究、B超格子構造やタンデム構造に関する基礎的研究

3.研究目的
(1) カーボン系新素材の薄膜成長技術の確立
分子線エピタキシー法によるフラーレン薄膜の結晶性制御を行ない、物性との関連を明らかにする。
太陽電池に適した性質を有するアモルファスカーボンを成膜する技術を確立する。
(2) 炭素化合物の基礎物性の解明と多様な物性の制御
太陽電池に適した禁止帯幅制御、光吸収係数制御を行なう。また、ラジカルビームやイオン注入による不純物ドーピングやアニールにより、伝導型、導電率の制御を行ない、pn接合の形成技術を確立する。
(3) カーボン系新素材を用いた太陽電池の開発
低欠陥密度化、欠陥の不働態化により、太陽電池の重要な材料物性である少数キャリア拡散長の増大をはかる。太陽電池の変換効率向上のために、フラーレンや、禁止帯幅が異なるアモルファスカーボン太陽電池を積層することによって、2接合及び3接合タンデム太陽電池を作製し、変換効率15%以上のカーボン系新素材太陽電池の実現を目指す。

4.研究成果の概要
4−1 研究計画、目的に対する成果
(1) C60薄膜のアモルファスカーボン化によるカーボン材料の物性制御
・C60薄膜へのボロン、燐イオン注入によるアモルファスカーボン化の手法で、p型、n型伝導の制御、および注入量による抵抗率制御(108〜10-1 Ωcm)、光学バンドギャップ値制御(0.1〜1.3 eV)に成功した。
・C60薄膜への窒素ラジカル・ドーピングによるアモルファスカーボン化の手法で、光学バンドギャップ値制御(1.3〜1.5eV)に成功した。
(2) C60を用いたカーボン/Siヘテロ接合太陽電池
・以下の各種太陽電池構造を作製し、光電変換効率の改善が図られた。
@C60/Si太陽電池:10-5%、ABイオン注入C60/Si太陽電池:0.02%、BBイオン注入C60/i-C60/Si太陽電池:0.1%、C紫外光レーザ照射C60/Si太陽電池:0.7%
(3) 樟脳を原料にしたアモルファスカーボン薄膜の成膜とホモ接合太陽電池
・樟脳を用いたイオンビームスパッタ法によりn型カーボン、熱CVD法によりp型カーボンを成膜し、n-C/p-C/p-Si太陽電池を作製した。光電変換効率は、2.28%が得られた。
(4) PECVD法を用いたa-Cの伝導型、バンドギャップ制御と多接合構造太陽電池
・メタンを用いたPECVD法により、欠陥密度1016cm-3台の高品質a-C膜の成膜に成功した。
・窒素、ボロン、硫黄ドープにより、バンドギャップ値制御を実現した。
・ボロン、硫黄ドープa-Cで、p型、n型伝導制御に成功した。
・ボロン、硫黄ドープa-C/Si太陽電池を試作し、pn接合の形成をそれぞれ確認した。
<研究目的の到達>
 上記の様に、カーボン系材料の成膜技術や物性の制御法において、多くの新規技術を開発し、伝導型や抵抗率、光学バンドギャップを制御することに成功した。しかし、本研究で得られたカーボン系太陽電池の光電変換効率は最高2.28%であり、目標としてかかげた15%には達しなかった。カーボンの化学結合様式はシリコンよりも複雑であり、その制御を高次に行なうためには、より多くの基礎的研究と時間を要すると考えられる。本研究での成果を基に、超格子構造や多接合構造など新規なデバイス構造の導入により、カーボン系薄膜太陽電池の高効率化が期待できる。

4−2 研究計画、目的外の成果
(1) C60/a-C超格子構造の創製
本研究でC60薄膜への窒素ラジカル・ドーピングを試みた結果、C60薄膜がアモルファスカーボン化することを見出した。そこで、このアモルファスカーボン化を成膜時の窒素イオンの断続供給により制御することで、C60/a-C超格子構造の創製を新たに提案し、その作製に成功した。超格子構造を導入することにより、光吸収係数の増大、バンドギャップ値制御が期待できる。また、アモルファスカーボン層をドーピング層として伝導型制御することにより、キャリア濃度制御、pn接合の形成が可能である。
カーボン系超格子構造は、太陽電池としての応用のみならず、カーボン系の物性制御に、広く有用であることが期待できる。
(2) 微結晶ダイヤモンド薄膜の合成
マイクロ波プラズマCVD法を用いてアモルファスカーボンの作製を試みたが、太陽電池に適した膜は得られなかった。しかし、成膜条件や基板へのバイアス印可の最適化により、従来より粒径の小さい微結晶ダイヤモンドを合成することができた。得られた膜は非常に硬く、また、平坦であるために、コーティング材として用いられる。

4−3 研究成果の展望
従来のアモルファスカーボンは非常に高抵抗であり、半導体デバイスへの応用は困難であった。本研究ではアモルファスカーボンのバンドギャップ、導電率、導電型等電気的・光学的物性の制御が可能となり、pn接合太陽電池へ応用することができた。将来はさらに成膜条件や成膜法を最適化することで、高品質なアモルファスカーボンが可能になり、ガラス等の安価な基板上へのアモルファスカーボンのpn接合太陽電池が作製できると思われる。
また、C60/a-C超格子構造の研究により、カーボン系材料の物性制御に新たな手法を提案し、材料設計の自由度を広げた。
カーボンはシリコンより原料や成膜装置が安価であり、将来の次世代型薄膜太陽電池として期待できる。
さらに、本研究では太陽電池を目指してアモルファスカーボンの研究に取り組んだが、本技術を発展させれば現在のシリコンに代わりカーボンを基盤としたエレクトロニクスの可能性もあると考えられる。

4−4 本事業の趣旨に鑑み、果たした役割
 本研究プロジェクトにより、カーボン材料の成膜技術や物性の制御法において、プラズマCVD法やドーピング手法など、多くの新規技術を開発すると共に、カーボン系超格子など、新しい概念を提案した。これにより、従来、半導体としての特性の制御が困難であったカーボン系材料に、半導体デバイスへの応用の道を指し示すことができた。実際にデバイスとして実用化するためには、まだ多くの基礎的研究を必要とするが、その基礎的な技術基盤の確立において、本研究プロジェクトは大きく貢献した。
 本研究で得られたカーボン材料の物性制御技術の成果を、さらに発展させることにより、次世代型カーボン系薄膜太陽電池の他、電池、光非線形素子、薄膜トランジスタ、耐環境デバイス等への応用の可能性があり、新素材産業への貢献が期待できる。

5.キーワード

(1)太陽電池材料、(2)炭素、(3)フラーレン
(4)アモルファス、(5)半導体物性、(6)成膜技術
(7)ヘテロ接合構造、(8)新素材、(9)欠陥物性

6.研究成果発表状況

A.学術雑誌論文(Journal Papers)
全著者名 論文名
K. M. Krishna, T. Soga, K. Mukhopadhyay, M. Sharon and M. Umeno Photovoltaic Solar Cell from Camphoric Carbon - A Natural Source
学術雑誌名 ページ 発行年
Solar Energy Materials&Solar Cells 48 ??? 25-33 1997

全著者名 論文名
K. L. Narayanan and M. Yamaguchi Boron ion implanted C60 hetero-junction photovoltaic devices
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Phys. Lett. 75 14 2106-2107 1999

全著者名 論文名
K. L. Narayanan, N. Kojima, K. Yamaguchi, N. Ishikawa and M. Yamaguchi Arsenic ion implantation induced structural effects in C60 films
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Mater. Sci. 34 ??? 5227-5231 1999

全著者名 論文名
S. M. Miminuzzaman, K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Optical absorption and electrical conductivity of amorphous carbon thin films from camphor: a natural source
学術雑誌名 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 Part1,2A 658-663 1999

全著者名 論文名
K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno A phosphorus doped (n-type) carbon/ boron doped (p-type) silicon photovoltaic solar cell from a natural source
学術雑誌名 ページ 発行年
Carbon 37 3 531-533 1999

全著者名 論文名
S. M. Mominuzzaman, K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Raman spectra of ion beam sputtered amorphous carbon thin films deposited from camphoric carbon
学術雑誌名 ページ 発行年
Carbon 38 ??? 127-131 2000

全著者名 論文名
山口 真史、小島 信晃 太陽電池用新素材の研究開発(招待論文)
学術雑誌名 ページ 発行年
機械の研究 52 5 547-554 2000

全著者名 論文名
Masafumi Yamaguchi and Nobuaki Kojima Research and Development on New Materials for Solar Cell Applications(Invited)
学術雑誌名 ページ 発行年
SCIENCE OF MACHINE 52 5 547-554 2000

全著者名 論文名
N. Kojima, M. Yamaguchi and N. Ishikawa Analysis of Photovoltaic Properties of C60-Si Heterojunction Solar Cells
学術雑誌名 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 39 Part1,3A 1176-1179 2000

全著者名 論文名
A. Khan, N. Kojima, M. Yamaguchi, K. L. Narayanan and O.Goetzberger High-Energy Electron Irradiation Effects in C60 Films
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 87 9 4620-4622 2000

全著者名 論文名
A. Khan, M. Yamaguchi and N. Kojima Recombination Center in C60/p-Si Heterojunction and Solar Cells
学術雑誌名 ページ 発行年
Solid-State Electron. 44 ??? 1471-1475 2000

全著者名 論文名
T. Soga, T. Jimbo, K. M. Krishna and M. Umeno Amorphous Carbon Thin Films for Optoelectric Device Application
学術雑誌名 ページ 発行年
Int. J. Mod. Phys. B 14 2&3 206-217 2000

全著者名 論文名
Y. Hayashi, K. Hagimoto, H. Ebisu, K. M. Krishna, T. Soga, M. Umeno and T. Jimbo Effect of Radio Frequency Power on The Hydrogenated Amorphous Carbon Films Grown by Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
学術雑誌名 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 39 Part1,7A 4088-4093 2000

全著者名 論文名
T. Sharda, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Biased Enhanced Growth of Nanocrystalline Diamond Films by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition
学術雑誌名 ページ 発行年
Diamond & Related Mat. 9 ??? 1331-1335 2000

全著者名 論文名
K. M. Krishna, M. Umeno, Y. Nukaya, T. Soga and M. Umeno Photovoltaic and Spectral Response Characteristics of n-C/p-C Solar Cell on a p-Silicon Substrate
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Phys. Lett. 77 10 1472-1474 2000

全著者名 論文名
T. Sharda, M. Umeno, T. Soga and T. Jimbo Growth of Nanocrystalline Diamond Films by Biased Enhanced Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition : A Different Regime of Growth
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Phys. Lett. 77 26 4304-4306 2000

全著者名 論文名
S. M. Mominuzzaman, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Camphoric Carbon Soot: A New Target for Deposition of Diamond-Like Carbon Films by Pulsed Laser Ablation
学術雑誌名 ページ 発行年
Thin Solid Film 376 ??? 1-4 2000

全著者名 論文名
K. L. Narayanan, O. Goetzberger, A. Khan, N. Kojima and M. Yamaguchi Boron Ion Implantation Effects in C60 Films
学術雑誌名 ページ 発行年
Solar Enegy Mat. & Solar Cells 65 ??? 29-35 2001

全著者名 論文名
N. Dharmarasu, T. Sakai, N. Kojima, M. Yamaguchi, Y. Ohshita and K.L. Narayanan Electrical and Optical Properties of The B+ and P+ Implanted C60 Films
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 89 1 318-322 2001

全著者名 論文名
K. M. Krishna, Y. Nukaya, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Solar Cells Based on Carbon Thin Films
学術雑誌名 ページ 発行年
Solar Enegy Mat. & Solar Cells 65 ??? 163-170 2001

全著者名 論文名
K. M. Krishna, H. Ebisu, K. Hagimoto, Y. Hayashi, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Low Density of Defect States in Hydrogenated Amorphous Carbon Thin Films Grown by Plasna-Enhanced Chemical Vapor Deposition
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Phys. Lett. 78 3 294-296 2001

全著者名 論文名
K. L. Narayanan, M. Yamaguchi, N. Dharmaasu, N. Kojima and D. Kanjilal Low energy Ion Implantation and High energy Heavy Ion Irradiation in C60 films
学術雑誌名 ページ 発行年
Nucl. Instrum. Meth & Res. B 178 ??? 301-304 2001

全著者名 論文名
K. L. Narayanan and M. Yamaguchi Phosphorous Ion Implantation in C60 for Photovoltaic Applications
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Appl. Phys 89 12 8331-8335 2001

全著者名 論文名
Y. Hayashi, K. M. Krishna, H. Ebisu, T. Soga, M. Umeno and T. Jimbo Optical and structural properties of nitrogen doped amorphous carbon films grown by plasma-enhanced CVD
学術雑誌名 ページ 発行年
Diamond & Related Mat. 10 ??? 1002-1006 2001

全著者名 論文名
S. M. Mominuzzaman, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Diamond-like carbon by pulsed laser deposition from a camphoric carbon target: effect of phosphorous incorporation
学術雑誌名 ページ 発行年
Diamond & Related Mat. 10 ??? 1839-1842 2001

全著者名 論文名
S. M. Mominuzzaman, H. Ebisu, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Phosphorous doping and defect studies of diamond-like carbon films by pulsed laser deposition using camphoric carbon target
学術雑誌名 ページ 発行年
Diamond & Related Mat. 10 ??? 984-988 2001

全著者名 論文名
T. Sharda, M. M. Rahman, Y. Nukaya, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Structural and optical properties of diamond and nano-diamond films grown by microwave plasma chemical vapor deposition
学術雑誌名 ページ 発行年
Diamond & Related Mat. 10 ??? 561-567 2001

全著者名 論文名
T. Sharda, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Strong adhesion sustaining large stress in nanocrystalline diamond films on Silicon substrates
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 89 9 4874-4878 2001

全著者名 論文名
Y. Hayashi, G. Yu, M. M. Rahman, K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Spectroscopic properties of nitrogen doped hydrogenated amorphous carbon films grown by radio frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 89 12 7924-7931 2001

全著者名 論文名
Y. Hayashi, G. Yu, M. M. Rahman, K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Determination of optical properties of nitrogen doped hydrogenated amprphous carbon films by spectroscopic ellipsometr
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Phys. Lett. 78 25 3962-3964 2001

全著者名 論文名
K. L. Narayanan, M. Yamaguchi and H. Azuma Excimer laser irradiation induced effects in C60 films for photovoltaic applications
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Phys. Lett. 80 7 1285-1287 2002

全著者名 論文名
B. Gupta, P. K. Shishodia, A. Kapoor, R. M. Mehra, K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Theoretical studies on the solar cell parameters of n-C/p-Si heterojunction
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Non-cryst. Solids 297 ??? 31-36 2002

全著者名 論文名
P. M. Sirimanne, T. Soga, Y. Hayashi and T. Jimbo Fabrication of TiO2 based solid state cell with an organic polymer as a sensitizer
学術雑誌名 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 41 Part2,2A L147-L148 2002

全著者名 論文名
B. Gupta, P. K. Shishodia, A. Kapoor, R. M. Mehra, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Effect of illumination intensity and temperature on the I/V characteristics of n-C/p-Si heterojunction
学術雑誌名 ページ 発行年
Solar Energy Mat. & Solar Cells ??? ??? ??? inpress

全著者名 論文名
M. Yamaguchi Novel Structure Solar Cells(invited)
学術雑誌名 ページ 発行年
Physica E ??? ??? ??? inpress

全著者名 論文名
K. L. Narayanan and M.Yamaguchi Photovoltaic Effects of a:C / C60/ Si (p- i -n) solar cell structures
学術雑誌名 ページ 発行年
Solar Energy Mat. & Solar Cells ??? ??? ??? inpress

全著者名 論文名
N. F. Fahim, N. Kojima, M. Yamaguchi, Y. Ohshita, A. E. Eid and N. Dharmarasu Electron spin resonance studies on defects phosphorus ion-implanted C60 films
学術雑誌名 ページ 発行年
Solar Energy Mat. & Solar Cells ??? ??? ??? inpress

全著者名 論文名
Y. Hayashi, M. M. Rahman, K. Kaneko, T. Soga, M. Umeno and T. Jimbo Deposition of amorphous CNx by d.c. and rf plasma sputtering using a rf radical nitrogen beam source
学術雑誌名 ページ 発行年
Diamond & Related Mat. ??? ??? ??? inpress

全著者名 論文名
Y. Hayashi, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Optical properties of trimethlboron and nitrogen codoped amorphous carbon films
学術雑誌名 ページ 発行年
Int. J. Mod. Phys. B ??? ??? ??? inpress

全著者名 論文名
K. L. Narayanan , N. Kojima, M. Yamaguchi Ion Implantation induced enhancement in conductivity in C60 films
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Mater. Science ??? ??? ??? submitted

全著者名 論文名
P. M. Sirimanne, T. Shirata, T. Soga, and T. Jimbo An approach for utilization of organic polymers as a sensitizer in solid state cess
学術雑誌名 ページ 発行年
Solar Enegy Mat. & Solar Cells ??? ??? ??? submitted

全著者名 論文名
P. M. Sirimanne, T. Shirata, T. Soga, and T. Jimbo Charge generation in dye sensitized solid-state cell under different modes of illumination
学術雑誌名 ページ 発行年
J. Solod State Chem. ??? ??? ??? submitted

全著者名 論文名
M. Rusop, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Physical and Structural Properties of Carbon thin Films Deposited in 2 Inert ases Ambient By Pulsed Laser Ablation using camphoric carbon target
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Surf. Sci. ??? ??? ??? submitted

全著者名 論文名
M. Rusop, S. M. Mominuzzaman, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Nitrogen doping and structural properties of amorphous carbon films deposited by pulsed laser ablation
学術雑誌名 ページ 発行年
Appl. Surf. Sci. ??? ??? ??? submitted

B.国際会議発表論文(International Conferences)
全著者名 論文名
M. Umeno, S. M. Mominuzzaman, K. M. Krishna, T. Soga and T. Jimbo Carbon -A Novel Electronic Material for Light Energy Conversion
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
Proc. of the First NIMC International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials Tsukuba, Japan ??? 123-124 1998

全著者名 論文名
N. Kojima, N. Ishikawa, M-J. Yang and M. Yamaguchi Photovoltaic Effects of C60 in C60-Si Heterojunction Cell
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
Proc. 2nd World Conference and Exhibition on Photovoltaic Solar Energy Conversion Vienna, Austria ??? 246-248 1998

全著者名 論文名
K. M. Krishna, S. M. Mominuzzaman, N. Inada, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Properties of Camphoric Carbon and Application to Photovoltaic Solar Cell
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
Proc. 2nd World Conference and Exhibition on Photovoltaic Solar Energy Conversion Vienna, Austria ??? 164-167 1998

全著者名 論文名
M. Umeno, S. M. Mominuzzaman, K. M. Krishna, T. Soga and J. Takashi Carbon -A Novel Electronic Material for Light Energy Conversion
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
Proc. of the First NIMC International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials Tsukuba, Japan ??? 123-124 1998

全著者名 論文名
N. Kojima, N. Ishikawa, M.-J Yang, A. Khan and M. Yamaguchi Photovoltaic Effects and Photoconduction of C60 in C60-Si Heterojunction Cell
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
Proc. of 2nd Korea-Japan Joint Seminar on Photovoltaics Cheju, Korea ??? 265-268 1998

全著者名 論文名
N. Ishikawa, N. Kojima, M-J. Yang, A. Khan and M. Yamaguchi Analysis of Photovoltaic Properties of C60/Si Heterojunction
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
Material Research Society 1998 Fall Meeting Boston, MA, USA ??? 391 1998

全著者名 論文名
K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Semiconducting Carbon for Optoelectric Device
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
International Symposium on Carbon Tokyo, Japan ??? ??? 1998

全著者名 論文名
S. M. Mominuzzaman, K. M. Krishna, K. Hagimoto, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Characterization of Camphoric Carbon Thin Films from a Natural Source
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
International Symposium on Carbon Tokyo, Japan ??? ??? 1998

全著者名 論文名
K. M. Krishna, S. M. Mominuzzaman, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Photoelectrical Properties of n-Carbon/p-Silicon Heterojunction Solar Cell
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
The Second NIMC International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials Tsukuba, Japan ??? ??? 1999

全著者名 論文名
T. Soga, K. M. Krishna, T. Jimbo and M. Umeno Amorphous carbon thin films for optoelectric device application(Invited)
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
2nd Specialist Meeting on Amorphous Carbon Singapore ??? ??? 1999

全著者名 論文名
K.L. Narayanan, A. Khan, O. Goetzberger, N. Kojima and M. Yamaguchi Boron Ion Implantation Effects in C60 films for Homo-junction Solar Cells
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
11th International Photvoltaic Science and Engineering Conference Sapporo, Japan ??? ??? 1999

全著者名 論文名
O. Goetzberger, N. Kojima, A. Khan, M. Yamaguchi and K. Araki Deposition and Characterization of Amorphous Carbon by Molecular Beam Deposition
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
11th International Photvoltaic Science and Engineering Conference Sapporo, Japan ??? ??? 1999

全著者名 論文名
K. M. Krishna, Y. Nukaya, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno Solar cells based on carbon thin film
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
11th International Photvoltaic Science and Engineering Conference Sapporo, Japan ??? ??? 1999

全著者名 論文名
K. Hagimoto, Y. Hayashi, K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Properties of crabon thin films deposited by plasma-CVD for solar cell application
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
11th International Photvoltaic Science and Engineering Conference Sapporo, Japan ??? ??? 1999

全著者名 論文名
N. Kojima and M. Yamaguchi Nitrogen Doping Effects in C60 Films by RF Plasma Source
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
The 1999 Joint International Meeting Honolulu, Hawaii, US ??? ??? 1999

全著者名 論文名
K.L. Narayanan and M. Yamaguchi Approaches for high efficiency C60 solar cells - Boron ion implantation induced photovoltaic effects
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
The 1999 Joint International Meeting Honolulu, Hawaii、USA ??? ??? 1999

全著者名 論文名
K.L. Narayanan, N. Kojima, N. Dharmarasu, T. Sakai and M. Yamaguchi Boron Ion Implantation Induced Amorphization and Formation of p-type Conductivity in C60 Thin Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
MRS Fall Meeting 1999 Boston, MA, USA ??? ??? 1999

全著者名 論文名
K.L. Narayanan, N. Kojima, T. Sakai, N. Dharmarasu and M. Yamaguchi Structural Changes in C60 Thin Films Induced by Ion Implantation of Arsenic and Boron
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
MRS Fall Meeting 1999 Boston, MA, USA ??? ??? 1999

全著者名 論文名
A. Khan, M. Yamaguchi and N. Kojima Deep Level Transient Spectroscopy of C60/p-Si Heterojunction solar Cell Interface States
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
MRS Fall Meeting 1999 Boston, MA, USA ??? ??? 1999

全著者名 論文名
O. Goetzberger, N. Kojima, A. Khan and M. Yamaguchi Deposition and Annealing Studies of Diamond-like Carbon grown by Molecular Beam Deposition
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
MRS Fall Meeting 1999 Boston, MA, USA ??? ??? 1999

全著者名 論文名
N. Kojima and M. Yamaguchi Radical Beam Doping in C60 Films for Solar Cell Application
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
16th European Photovoltaic Solar Energy Conference Glasgow, United King ??? ??? 2000

全著者名 論文名
K.L. Narayanan, N. Kojima, M. Yamaguchi, N. Dharmarasu, T. Sakai, O. Goetzberger and A. Khan Analysis of Boron-Ion-Implanted p- C60/n-Si Heterojunction Solar Cells
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
16th European Photovoltaic Solar Energy Conference Glasgow, United King ??? ??? 2000

全著者名 論文名
O. Goetzberger, N. Kojima, A. Khan, N. Dharmarasu and M. Yamaguchi Study of Temperature Dependent DC Conductivity in Annealed Amorphous Carbon Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
16th European Photovoltaic Solar Energy Conference Glasgow, United King ??? ??? 2000

全著者名 論文名
K.L. Narayanan, M. Yamaguchi, N. Kojima, D. K. Avasthi and D. Kanjilal Low Energy Ion Implantation and High Energy Heavy Ion Irradiation in C60 Thin Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
European Materials Research Society 2000 Spring Meeting Strasbourg, France ??? ??? 2000

全著者名 論文名
S. M. Mominuzzaman, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Diamond-Like Carbon by Pulsed Laser Deposition from Camphoric Carbon Target Effect of Phosphorous Incorporation
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
7th International Conference on New Diamond Science & Technology Hong Kong, China ??? ??? 2000

全著者名 論文名
T. Sharda, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Growth of Nanocrystalline Diamond Films by Biased Enhanced Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
7th International Conference on New Diamond Science & Technology Hong Kong, China ??? ??? 2000

全著者名 論文名
T. Sharda, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno High Compressive Stress in Nanocrystalline Diamond Films Grown by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
11th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides and Silicon Carbide Portugal ??? ??? 2000

全著者名 論文名
T. Sharda, M. M. Rahman, Y. Nukaya, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Structural and Optical Properties of Diamond and Nano-Diamond Films Grown by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
11th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides and Silicon Carbide Portugal ??? ??? 2000

全著者名 論文名
S. M. Mominuzzaman, H. Ebisu, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Phosphorous Doping and Defect Studies of Diamond-Like Carbon Films by Pilsed Laser Deposition Using Camphoric Carbon Target
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
11th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides and Silicon Carbide Portugal ??? ??? 2000

全著者名 論文名
Y. Hayashi, K. M. Krishna, H. Ebisu, T. Soga, M. Umeno and T. Jimbo Optical and Structural Properties of Nitrogen Doped Amorphous Carbon Films Grown by Plasma-Enhanced CVD
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
11th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides and Silicon Carbide Portugal ??? ??? 2000

全著者名 論文名
N. Kojima, O. Goetzberger, Y. Ohshita and M. Yamaguchi Approach to The Carbon-Based Superlattice Structure Solar Cell
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
28th IEEE Photovoltaic Specialists Conference Anchorage, USA ??? ??? 2000

全著者名 論文名
T. Sakai, N. Dharmarasu, O. Goetzberger, N. Kojima, Y. Ohshita and M. Yamaguchi The Effects of Boron and Phosphorous Ion Implantation in C60 Thin Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
28th IEEE Photovoltaic Specialists Conference Anchorage, USA ??? ??? 2000

全著者名 論文名
K. M. Krishna, Y. Nukaya, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Solar Cells Based on Carbon Thin Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
28th IEEE Photovoltaic Specialists Conference Anchorage, USA ??? ??? 2000

全著者名 論文名
K.L. Narayanan, N. Dharmarasu, N. Kojima, T. Sakai and M. Yamaguchi Ion Implantation Effects in C60 Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
The 3rd Korea-Japan Joint Seminar on Photovoltaics Pusan, Korea ??? ??? 2000

全著者名 論文名
N. Dharmarasu, K.L. Narayanan, N. Kojima, Y. Ohshita and M. Yamaguchi Post Annealing Studies of C60 Ion Implanted Thin Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
MRS 2000 Fall Meeting Boston, MA, USA ??? ??? 2000

全著者名 論文名
M. Yamaguchi Fullerene for Solar Cell Applications(invited)
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
Taiwan-Japan Cooperative Meeting of Fullerene Science and Technology Taiwan ??? ??? 2000

全著者名 論文名
N. Kojima, Y. Ohshita and M. Yamaguchi Fabrication of C60 / Amorphous Carbon Superlattice Structures
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
International Symposium on Nanonetwork Materials 2001 Kamakura, Japan ??? ??? 2001

全著者名 論文名
K.L. Narayanan, N. Kojima and M. Yamaguchi Ion Implantation Induced Enhancement in Conductivity of C60 Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
International Symposium on Nanonetwork Materials 2001 Kamakura, Japan ??? ??? 2001

全著者名 論文名
N. F. Fahim, N. Kojima, M. Yamaguchi, Y. Ohshita, N. Dharmarasu and T. Sakai ESR Study of Structural Defect Formation in P+-Implanted and Annealed C60 Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
12th International Photovoltaic Science and Engineering Conference Jeju, Korea ??? 121-122 2001

全著者名 論文名
K. L. Narayanan and M. Yamaguchi Photovoltaic Effects of a:c / C60/ Si (p- i -n) solar cell structures
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
12th International Photovoltaic Science and Engineering Conference Jeju, Korea ??? 137-138 2001

全著者名 論文名
T. Sakai, N. Kojima, N. F. Fahim and M. Yamaguchi Raman Study of The P-ion Implanted C60 Films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
12th International Photovoltaic Science and Engineering Conference Jeju, Korea ??? 149-150 2001

全著者名 論文名
N. Kojima and M. Yamaguchi Optical Properties of Carbon-Based Superlattice Structures for Solar Cell Applications
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
12th International Photovoltaic Science and Engineering Conference Jeju, Korea ??? 463-464 2001

全著者名 論文名
K. L. Narayanan and M. Yamaguchi Phosphorous Ion Implantation in C60 for the Photovoltaic Applications
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
12th International Photovoltaic Science and Engineering Conference Jeju, Korea ??? 593-594 2001

全著者名 論文名
Y. Hayashi, S. Ishikawa, M. Adachi, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno Optical properties of trimethlboron and nitrogen codoped amorphous carbon films
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
Int. Conf. On Materials for Advanced Technologies Singapore ??? ??? 2001

全著者名 論文名
M. Yamaguchi Multi-junction and Novel Structure Solar Cells(invited)
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
International Conference on Nanostrures in Photovoltaics Dresden, Germany ??? ??? 2001

全著者名 論文名
Y. Hayashi, M. M. Rahman, K. Kaneko, T. Soga, M. Umeno and T. Jimbo Deposition of amorphous CNx by d.c. and rf plasma sputtering using a rf radical nitrogen beam source
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
12th European Conf. On Diamond, Diamond-like Materials, carbon Nanotubes, Nitrides & Silicon Carbide Hungary ??? ??? 2001

全著者名 論文名
N. Kojima and M. Yamaguchi Fabrication Technique and Optical Properties of Carbon-Based Superlattice Structures
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
17th European Photovoltaic Solar Energy Conference Munich, Germany ??? ??? 2001

全著者名 論文名
K. L. Narayanan and M. Yamaguchi UV irradiation induced effects in C60 thin films for photovoltaic applications
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
17th European Photovoltaic Solar Energy Conference Munich, Germany ??? ??? 2001

全著者名 論文名
M. Rusop, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Physical and Structural Properties of Carbon thin Films Deposited in 2 Inert ases Ambient By Pulsed Laser Ablation using camphoric carbon target
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
The 6th Int. Conf. On Laser Ablation Japan ??? ??? 2001

全著者名 論文名
M. Rusop, S. M. Mominuzzaman, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno Nitrogen doping and structural properties of amorphous carbon films deposited by pulsed laser ablation
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
The 6th Int. Conf. On Laser Ablation Japan ??? ??? 2001


戻る