平成１３年度日本学術振興会未来開拓学術研究推進事業研究成果報告書概要


産学協力研究委員会名　弾性波素子技術第150委員会
　
研究プロジェクト名　新圧電単結晶・薄膜材料の探索と次世代高度情報システム用高機能弾性波デバイスの研究
　
（英文名）　Investigation of New High Performance Piezoelectric Single Crystals and Thin Films and Applications for Next Generation Electronics and Communication Systems
　
研究期間　平成９年度 〜 平成１３年度

プロジェクト・リーダー名 研究経費 ５５７，７４６千円
氏名・所属研究機関
所属部局・職名		 山田　顕 ・東北大学 ・大学院工学研究科 ・助教授 内訳 平成　９年度１２９，００２千円
平成１０年度１２２，５５２千円
平成１１年度１２４，９４１千円
平成１２年度１０１，２５１千円
平成１３年度８０，０００千円

１．研究組織

氏名 所属機関・部局・職 研究プロジェクトでの役割分担
中村　僖良 東北大学・大学院工学研究科・教授 高品質圧電薄膜技術と多層構造新圧電共振デバイスの研究及び光と弾性波の相互作用の研究
本郷　哲 東北大学・大学院工学研究科・助手（平成11年3月31日まで） 高品質圧電薄膜技術と多層構造新圧電共振デバイスの研究及び光と弾性波の相互作用の研究
姜　煕復 東北大学・大学院工学研究科・助手（平成11年4月1日から平成12年9月30日まで） 高品質圧電薄膜技術と多層構造新圧電共振デバイスの研究及び光と弾性波の相互作用の研究
山之内　和彦 東北工業大学・電子工学科・教授 KNbO3超結合圧電単結晶・薄膜の研究とGHz帯弾性表面波デバイス及び微細加工技術の研究
長　康雄 東北大学・電気通信研究所・教授（平成10年4月1日から） KNbO3超結合圧電単結晶・薄膜の研究とGHz帯弾性表面波デバイス及び微細加工技術の研究
小田川裕之 東北大学・電気通信研究所・助手（平成13年3月31日まで） KNbO3超結合圧電単結晶・薄膜の研究とGHz帯弾性表面波デバイス及び微細加工技術の研究
目黒　敏靖 東北大学・電気通信研究所・助手（平成13年3月31日まで） KNbO3超結合圧電単結晶・薄膜の研究とGHz帯弾性表面波デバイス及び微細加工技術の研究
坪内　和夫 東北大学・電気通信研究所・教授 弾性波・半導体集積デバイスと移動体通信システムの研究
益　一哉 東北大学・電気通信研究所・助教授（平成12年5月31日まで） 弾性波・半導体集積デバイスと移動体通信システムの研究
櫛引　淳一 東北大学・大学院工学研究科・教授 圧電単結晶・薄膜材料の特性評価の研究
松本　泰 東北大学・大学院工学研究科・助教授（平成11年4月16日から平成12年10月31日まで） 圧電単結晶・薄膜材料の特性評価の研究
明石　尚之 東北大学・大学院工学研究科・助手（平成10年12月31日まで） 圧電単結晶・薄膜材料の特性評価の研究
小野　雄 東北大学・大学院工学研究科・助手（平成10年4月1日から平成13年3月31日まで） 圧電単結晶・薄膜材料の特性評価の研究
三野宮利男 東北大学・大学院工学研究科・助手（平成11年4月1日から平成13年3月31日まで） 圧電単結晶・薄膜材料の特性評価の研究
高長　和泉 東北大学・大学院工学研究科・助手（平成12年4月1日から平成13年3月31日まで） 圧電単結晶・薄膜材料の特性評価の研究
清水　康敬 東京工業大学・大学院社会理工学研究科・教授（平成13年3月31日まで） ランガサイト単結晶上の弾性波伝搬特性の解析
室田　真男 東京工業大学・大学院社会理工学研究科・助教授 ランガサイト単結晶上の弾性波伝搬特性の解析
中川　恭彦 山梨大学・工学部・教授 高結合圧電薄膜の研究と薄膜弾性波デバイスへの応用
垣尾　省司 山梨大学・工学部・助手（平成13年3月31日まで） 高結合圧電薄膜の研究と薄膜弾性波デバイスへの応用
山口　正恆 千葉大学・工学部・教授 PZT圧電薄膜弾性波デバイスの研究及びCADシステムの研究
橋本　研也 千葉大学・工学部・助教授 PZT圧電薄膜弾性波デバイスの研究及びCADシステムの研究
大森　達也 千葉大学・工学部・助手（平成11年4月1日から平成13年3月31日まで） PZT圧電薄膜弾性波デバイスの研究及びCADシステムの研究
山田　純 （株）日立製作所・次世代移動体通信技術部・担当部長（平成12年4月1日から） 弾性バルク波・弾性表面波デバイスの開発と通信システムへの応用
山本　泰司 日本電気（株）・伝送デバイス事業部第三開発部・部長（平成12年4月1日から） 弾性バルク波・弾性表面波デバイスの開発と通信システムへの応用
木村　栄 （株）東芝・電子デバイス事業本部SAW技術部・部長（平成12年4月1日から） 弾性バルク波・弾性表面波デバイスの開発と通信システムへの応用
佐藤　良夫 （株）富士通研究所・ペリフェラルシステム研究所・主管研究員（平成12年4月1日から） 弾性バルク波・弾性表面波デバイスの開発と通信システムへの応用
富田　佳宏 松下電器産業（株）・デバイスエンジニアリング開発センター・主任技師（平成12年4月1日から） 弾性バルク波・弾性表面波デバイスの開発と通信システムへの応用
門田　道雄 （株）村田製作所・技術開発部開発第2部・部長（平成12年4月1日から） 弾性バルク波・弾性表面波デバイスの開発と通信システムへの応用
平間　宏一 東洋通信機（株）・新規事業開発部・担当部長（平成12年4月1日から） 弾性バルク波・弾性表面波デバイスの開発と通信システムへの応用

２．研究計画の概要

　近年、弾性波デバイスの研究の進展は著しいものがあり、周波数制御･選択ならびに信号処理のための独自の機能と優れた特性を有する数多くの弾性波デバイスが開発され、電子・情報通信システムの高度化に大きな役割を果たしてきた。しかし､ ２１世紀のグローバルな高度情報化社会に向けて、弾性波デバイスの超高周波化、高度集積化、高機能化の実現、ならびに新しい概念の弾性波機能デバイスの開拓が大きな課題となっている。
　本研究では、次世代情報通信システム構築を目指し、産業界の協力の下に、非常に大きな電気機械結合係数と大きな音速をもつ新しい圧電単結晶材料の探索と育成、及び高品質圧電単結晶薄膜の形成の研究を行うと共に、弾性波動の線形・非線形の伝搬特性の解明と、新しい動作原理に基づく弾性波機能デバイス並びに弾性波と光波との相互作用を用いた新機能デバイスの開拓を行う。さらに、以上の成果を基に、優れた特性や機能をもつ高速･高密度の弾性波デバイスの実現を図ると共に、半導体集積回路への弾性波デバイスの集積化の研究を推進することを目指している。
　本研究は、２１世紀において我が国がこの分野で世界をリードしていく上で礎となるものであり、学術的に見ても、また社会産業上の見地からも、その貢献度は極めて大であると期待される。
３．研究目的
・新圧電体単結晶の探索と大形結晶成長法の研究
・高品質圧電単結晶薄膜（ZnO, AlN, Ta2O5, PZT）の成長法の研究
・圧電単結晶および薄膜の物理関連定数の精密測定と特性評価
・線形・非線形伝搬特性の解明と高性能カットの探索
・高機能弾性表面波デバイス（超広帯域フィルタ、コンボルバ、マッチトフィルタ）の開発
・半導体集積回路上への弾性波デバイスの集積化
・弾性波と光波の相互作用を利用した高機能光デバイスの開発
・ナノメータ超微細加工プロセスの研究
・新しい超高周波（SHF）帯弾性波デバイスの開発
・弾性波デバイスの高性能化のためのCADシステムの研究開発
４．研究成果の概要
４−１　研究計画、目的に対する成果
・TSSG法によりKNbO3大形結晶の育成に成功した。また弾性表面波(SAW)デバイス用の優れた基板切断方位の探索を行い、KNbO3Z軸シリンダーカット基板に超高結合（最大k2=0.54）BGS表面波が存在することを見出した。また、45°Y-X KNbO3基板を用いた高性能弾性表面波(SAW)コンボルバの解析と実験を行い、従来のLiNbO3コンボルバに比べて+20dB高い効率が得られることがわかった。さらに、BGS波と光波の相互作用を利用したチューナブル光フィルタの解析を行い、高効率な光フィルタが得られることを示した。現在、デバイスの試作と評価を行っている。また、KNbO3単結晶のバルク波に対する電気機械結合係数の切断方位依存性を解析し、特に、49.5°X板において厚み縦振動の電気機械結合係数ktが70%と、全ての圧電体の中で最大の値をとることがわかった。
・ECR-MBE装置を開発し、これを用いて回転YカットLiTaO3基板上にc軸が面に平行な(110)ZnO膜をエピタキシャル成長させることに成功した。また、この構造の基板におけるSH型SAWの解析を行い、ZnO圧電膜の寄与により、電気機械結合係数が約1.5倍大きくなることを示した。さらに、リニア型高速熱処理法を提案し，強弾性・強誘電性Ta2O5薄膜の単結晶化に成功した。
・2.4GHz帯AlN/Al2O3 構造SAWマッチトフィルタを開発し、これを用いてSS無線スイッチシステム及びパケットSS-CDMA方式の設計・試作を行った。
・従来の約5倍の電気機械結合係数(k2=0.25)と零温度特性をもつSiO2/回転Y-X伝搬LiNbO3弾性表面波基板を理論解析により見出すと共に、実験により、回転5度カット基板が膜厚H/λ=0.2（H：SiO2膜厚、λ：SAWの動作波長）でk2=0.22と大きく、零温度係数を有し、かつ低伝搬減衰であることを示した。
・半導体集積回路上に集積可能な共振器として、λ/4音響多層膜上に圧電薄膜を設けた新しい構成の超高周波帯音響薄膜共振デバイスの研究を行い、解析と試作により1〜20GHzの超高周波帯デバイスの実現可能性ならびに有望であることを示した。
・ランガサイト（La3Ga5SiO14）基板を伝搬するレイリー波ならびに漏洩弾性表面波の全方位カット依存性を理論計算した。その結果、レイリー波において零温度係数のカットが多数存在し、特に（0°, 149.16°, 24°）カットが優れた特性を有することを見出した。
・恒温の測定環境下で音響特性を高精度かつ高効率に自動測定することが可能な超音波マイクロスペクトロスコピー（UMS）材料評価システムの開発を行い、LiTaO3や水晶の諸定数を決定した。
・SAW一方向性変換器やSH型SAWデバイスに対する高速・高精度シミュレーション技法を構築した。
４−２　研究計画、目的外の成果
KNbO3のSAW特性測定の実験中に、偶然にも遅延時間温度係数の符号がカットにより異なることに気がついた。これにより、回転60°YカットX伝搬KNbO3単結晶基板が電気機械結合係数が約30%と大きいにもかかわらず室温付近で零温度係数を有していることが見出された。結合係数の大きい材料は温度特性が悪いと言うのが従来の常識であり、このような成果は当初全く予想していなかったことである。この高安定広帯域フィルタ用基板の発見は次世代高度情報システムへの応用を考えると非常に大きな意義がある。
また、圧電板の厚み縦振動における電気機械結合係数ktは、圧電結晶の分極軸方向に電界を印加するZ板の場合が最大であると通常考えられていたが、KNbO3単結晶のktの切断方位依存性を調べた結果、電界印加方向が分極軸とは異なる49.5°回転X板においてkt=70%とZ板よりもはるかに大きい値をとることが見出された。この値は、既知の全ての圧電体の中で最大の値であり、研究目的外の高性能超音波トランスデューサへの応用が大いに期待される。
４−３　研究成果の展望
　従来高結合圧電材料としてはPZTセラミックスやLiNbO3結晶が約半世紀の長きにわたり使われてきており、これを凌駕するような圧電材料は現れなかった。その意味で、本研究プロジェクトにより、KNbO3結晶の弾性表面波に対する電気機械結合係数kが73%（k2=0.54）と大きく、また厚み縦振動の結合係数ktが70%という従来材料に比べて非常に大きいことが発見されたことは、学問的にもまた産業上の見地からも社会に与えたインパクトは大きいと言える。加えてこのKNbO3結晶は、温度特性の優れたカットが存在すること、弾性非線形性や音響光学相互作用が大きいこと、など弾性波デバイスへの応用上優れた特性を有することが見出された。したがって、今後新たな研究の展開が予想され、新しい分野が形成されていくことが期待される。
一方、これまで携帯電話の小形化・高周波化に大きな役割を果たしてきたSAWデバイスも、パターンの微細化に限界が見え始めてきた。これに対して本研究プロジェクトでは、次世代超高周波帯通信用の新しいデバイスとして、λ/4音響多層膜上に圧電膜を形成した構造の圧電薄膜共振デバイスを開発した。この圧電薄膜共振デバイスはSAWデバイスのようなサブミクロンのパターンニングが不要であり、圧電膜の膜厚を薄くすることにより容易に10GHz以上への高周波化が可能であることから、従来のSAWデバイスの高周波限界を大きく打ち破る可能性がある。また、素子寸法が非常に小さいことから、半導体集積回路基板上に一体化できるという利点があり、次世代情報通信市場における超高周波化のニーズに対応できる弾性波デバイスとして注目されている。
　また、本プロジェクトで開発したリニア型高速熱処理法によりTa2O5単結晶圧電膜を形成することに成功したが、このTa2O5薄膜は強弾性・強誘電性結晶であることから、弾性的非線型性が非常に大きいと予想され、コンボルバなどの非線型デバイスへの応用が可能となる他、（応力，電界）⇔（ひずみ，電束密度）の間にスイッチング特性を有することから、将来メモリーやスイッチなどへの応用が拓ける可能性がある。
４−４　本事業の趣旨に鑑み、果たした役割
　我が国の弾性波素子の産業は、これまで世界の７０％を越えるシェアを誇ってきた。弾性波素子技術は、近年における移動体通信に代表される通信システムの著しい発展を支えてきており、21世紀においても大きな役割を担うことが期待されている。
次世代通信システムにおいて弾性波素子技術に求められているものは、高周波化、広帯域化、高安定化、高効率化・低損失化、半導体集積回路への集積化、などである。本研究プロジェクトではこれらの難しい課題に果敢に取組んだ。
その結果、零温度係数を有しながらなおかつ高い電気機械結合係数を有するKNbO3やランガサイト(La3Ga5SiO14)などの新しい基板の発見により、高安定化、広帯域化ならびに高効率化・低損失化が可能になった。また、Ta2O5、ZnO、AlN、PZTなどの高品質圧電単結晶薄膜成膜法の確立により、従来よりも格段の効率と性能を有する高効率SAWコンボルバやSAWマッチトフィルタなどの各種高機能弾性波デバイスが実現可能になった他、集積化に一定の見通しを得ることができた。
　また、λ/4音響多層膜を用いる新しい圧電薄膜共振デバイスの開発は、従来のSAWデバイスの周波数限界を大きく打ち破り、10GHz以上への高周波化を可能にするとともに、素子寸法が非常に小さいことから半導体集積回路基板上への集積化をも可能にした。
本研究プロジェクトの成果は、弾性波デバイス技術が21世紀の通信システムに大き貢献し、引き続き我が国のこの分野の産業が世界をリードしていくことを可能にしたもので、本プロジェクトの果たした役割は極めて大きいと言える。

５．キーワード

(1)弾性波デバイス、(2)圧電結晶、(3)圧電薄膜
(4)SAWコンボルバ、(5)SAWマッチトフィルタ、(6)圧電薄膜共振器
(7)KNbO3、(8)ランガサイト、(9)SAWデバイス

６．研究成果発表状況

A.学術雑誌論文（Journal Papers）
全著者名 論文名
K.Nakamura, T.Tokiwa and Y.Kawamura Domain structures in KNbO3 crystals and their piezoelectric properties
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 91 12 ???? 2002

全著者名 論文名
J. Kushibiki, Y. Ono, Y. Ohashi, and M. Arakawa Development of the line-focus-beam ultrasonic material characterization system
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 49 1 99-113 2002

全著者名 論文名
J. Kushibiki, I. Takanaga, and S. Nishiyama Accurate measurements of the acoustical physical constants of synthetic a-quartz for SAW devices
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 49 1 125-135 2002

全著者名 論文名
J. Kushibiki, Y. Ohashi, and T. Ujiie Standardized evaluation of chemical compositions of LiTaO3 single crystals for SAW devices using the LFB ultrasonic material characterization system
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 49 4 454-465 2002

全著者名 論文名
J. Kushibiki, Y. Ohashi, Y. Ono, and T. Sasamata Evaluation and improvement of optical-grade LiTaO3 single crystals by the LFB ultrasonic material characterization system
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC ??? ??? ??? 2002

全著者名 論文名
J. Kushibiki, M. Arakawa,and R. Okabe High-accuracy standard specimens for the line-focus-beam ultrasonic material characterization system
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC ??? ??? ??? 2002

全著者名 論文名
I. Takanaga and J. Kushibiki A method of determining acoustical physical constants for piezoelectric materials by line-focus-beam acoustic microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC ??? ??? ??? 2002

全著者名 論文名
J. Kushibiki, I. Takanaga, S. Komatsuzaki, and T. Ujiie Chemical composition dependences of the acoustical physical constans of LiNbO3 and LiTaO3 single crystals
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys ??? ??? ??? 2002

全著者名 論文名
K.Nakamuara, T.Tokiwa, and Y.Kawamura Domain structures in KNbO3 crystals and their Piezoelectric Properties.
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 91 12 1-5 2002

全著者名 論文名
K.Yamanouchi, H.Odagawa Research of Super-High Electromechanical Coupling Surface Acoustic Wave Substrates
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Journal of Applied Physics of Japan 40 5B 3726-3728 2001

全著者名 論文名
K.Yamanouchi,Y.Wagatsuma, H.Odagawa and Y.Cho Single crystal growth and KNbO3 and application to surface acoustic wave devices
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Journal of the European Ceramics Society 21 ??? ??? 2791-2795 2001

全著者名 論文名
Yasuhiko Nakagawa,Mituhiro Yawata & Shoji Kakio Enhancement of photoelastic constant of optical thin film waveguide assisted by surface wave
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Ultrasonics 38 ??? 590-593 2000

全著者名 論文名
Shoji Kakio, Kenji Hishinuma and Yasuhiko Nakagawa Leaky Surface Acoustic Waves on Langasite with Thin Dielectric Films
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys ??? ??? ??? 2002

全著者名 論文名
S.Tomabechi, A.Komuro, T.Konno, H.Nakase, K.Tsubouchi, Design and Implementation of Spread Spectrum Wireless Switch Low Power Consumption
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEICE TRANS.FUNDAMENTALS E84-A 4 971-973 2002

全著者名 論文名
H.Nakase, Y.Iizuka, S.Kameda, S.Tomabechi, A.Komuro, K.Tsubouchi SS-CDMA Flexible Wireless Network: Packet SS-CDMA Modem Using SAW Matched Filter For Dowmlink
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEICE TRANS.COMMUN. E84-B 4 747-751 2002

全著者名 論文名
K.Hashimoto, M.Yamaguchi Effects of Bulk Wave Radiation on IDT Admittance on 42°YX-LiTaO3
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 48 4 1419-1425 2001

全著者名 論文名
Shoji Kakio, Kenji Hishinuma and Yasuhiko Nakagawa Suppression of Bulk Wave Radiation from Leaky Surface Acoustic Waves by Loading with Thin Dielectric Films
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 87 3 1440-1447 2000

全著者名 論文名
S. Kondo, T. Omori, K. Hashimoto and M. Yamaguchi Effects of dielectric overlay upon surface acoustic wave propagation under metallic grating structure.
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 40 5B 3759-3761 2001

全著者名 論文名
T. Omori, H. Makita, M. Takamatsu, K. Hashimoto, M. Yamaguchi and M. Sato Preparation of piezoelectric PZT micro-discs by sol-gel method.
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Trans. IEE Japan 21-E 9 496-500 2001

全著者名 論文名
R. Nakagawa, T. Yamada, T. Omori, K. Hashimoto and M. Yamaguchi Analysis of excitation and propagation characteristics of leaky modes in surface acoustic wave waveguides.
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. ??? ??? ??? ???

全著者名 論文名
K.Nakamura Orientation dependence of electromechanical coupling factors in KNbO3
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. Ultrason. Ferroelec. Freq. Contl. 47 3 750-755 2000

全著者名 論文名
H.Kanbara, H.Kobayashi and K.Nakamura Analysis of piezoelectric thin film resonators with acoustic quarter-wave Multilayers
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys 39 ??? 3049-3053 2000

全著者名 論文名
K.Nakamura, Tatsuya Shoji and Hee-Bog Kang ZnO Film Growth on (0112)LiTaO3 by Electron Cyclotron Resonance-Assisted Molecular Beam Epitaxy and Determination of Its Polarity
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys 39 ??? L534-L536 2000

全著者名 論文名
K.Nakamura Defect structure of epitaxial ZnO films on (0001) sapphire studied by transmission electron microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Vac. Sci. technol.B 19 2 ??? 2001

全著者名 論文名
S.-H. Lim, D.Shindo, H.-B.Kang, K.Nakamura Study of defects and interfaces in epitaxial ZnO films on (1120)Al2O3 grown by electron cyclotron resonance-assisted molecular beam epitaxy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J.of Crystal Growth 225 ??? ??? 202-207 2000

全著者名 論文名
S.-H. Lim, D.Shindo, H.-B.Kang, K.Nakamura Structural characterization of epitaxial ZnO films grown on (0001)Al2O3 by electron cyclotron resonance-assisted molecular beam epitaxy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J.of Crystal Growth 225 ??? ??? 208-213 2001

全著者名 論文名
T. Omori, J.Akasaka, M.Arai, K. Hashimoto, and M. Yamaguchi Optimisation of weighted saw grating reflectors with minimised time delay deviation
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. IFCS and PDA Exhibition ??? ??? 666-670 ???

全著者名 論文名
S.-H. Lim, D.Shindo, H.-B.Kang, K.Nakamura Study of defects and interfaces in epitaxial ZnO films on (1120)Al2O3 grown by electron cyclotron resonance-assisted molecular beam epitaxy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J.of Crystal Growth 225 ??? ??? 202-207 2001

全著者名 論文名
S.-H. Lim, D.Shindo, H.-B.Kang, K.Nakamura Structural characterization of epitaxial ZnO films grown on (0001)Al2O3 by electron cyclotron resonance-assisted molecular beam epitaxy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J.of Crystal Growth 225 ??? ??? 208-213 2001

全著者名 論文名
H.-B.Kang K.Nakamura Defect structure of epitaxial ZnO films on (0001) sapphire studied by transmission electron microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Vac. Sci. technol.B 19 2 ??? 2001

全著者名 論文名
K.Yamanouchi, K.Kotani, H.Odagawa, Y.Cho Theoretical Analysis of Surface Acoustic Wave Propagation Characteristics under Strained Media and Applications for High Temperature Stable High Coupling Surface Acoustic Wave Substrates
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 39 ??? 3032-3035 2000

全著者名 論文名
K.Yamanouchi, H.Goto, M.Tsunashima, Y.Kanno, Y.Yamagata, N.Kuze, K.Yamanouchi Development of High-Efficiency Strip‐Coupled Surface Acoustic Wave Convolver Using GaSb/InSb/A1GaAsSb/LiNbO3 Structures
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 39 ??? 3036-3040 2000

全著者名 論文名
K. Yamanouchi, Hyatsuda, K.Noguchi, K.Yamanouchi Surface Acoustic Wave Filter Using Floating Electrode Slanted Finger Unidirectional Transducers
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 39 ??? 3041-3044 2000

全著者名 論文名
K.Yamanouchi Automatic Computer-Aided Design of SAW Filters UsingSlanted Finger lnterdigital Transducers
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. Ultrason. Ferroelec. Freq. Contr. 47 ??? 140-147 2000

全著者名 論文名
K.Yamanouchi, Y.Cho, N.Oota, H.Odagawa, K.Yamanouchi Quantitative study on the nonlinear piezoelectric effectin KNbO3 single crystals for a highly efficient surfaceacoustic wave elastic convolver
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 87 7 3457-3461 2000

全著者名 論文名
J. Kushibiki, T.Okuzawa, J.Hirohashi, Y.Ohashi Line-focus-beam acoustic microscopy characterization of optical-grade LiTaO3 single crystals
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 87 9 4395-4403 2000

全著者名 論文名
J. Kushibiki Measurements of bulk acoustic properties of synthetic α-quartz
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Electronics letters 36 10 928-929 2000

全著者名 論文名
J. Kushibiki Experimental study of construction mechanism of V(z) curves obtained by line-focus-beam acoustic microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC. 47 4 1042-1050 2000

全著者名 論文名
J. Kushibiki Evaluation and selection of LiNbO3 and LiTaO3 substrates for SAW devices by the LFB ultrasonic material characterization system,
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 47 4 1068-1076 2000

全著者名 論文名
J. Kushibiki Diffraction effects on bulk-wave velocity and attenuation measurements
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Acoust. Soc. Am 108 2 564-573 2000

全著者名 論文名
J. Kushibiki, M.Miyashita Quantitative evaluation of fabrication processes of proton-exchanged layers in LiTaO3 optoelectronic devices by the line-focus-beam ultrasonic material characterization system
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 89 4 2017-2024 2001

全著者名 論文名
H.Zhang, M.Murota, Y Shimizu Characteristics of Longitudinal Leaky Surface Wave Propagating on La3Ga5SiO14 Substrate
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 40 ??? 3755-3758 2001

全著者名 論文名
Y. Nakagawa Enhancement of photoelastic constant of optical thin film waveguide assisted by surface acoustic wave
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Ultrasonics 38 ??? 590-593 2000

全著者名 論文名
Y. Nakagawa, S.Kakio, K.Hishinuma, Y.Nakagawa Suppression of Bulk Wave Radiation from Leaky Surface Acoustic Waves By Loading with Thin Dielectric Films
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 87 ??? 1440-1447 2000

全著者名 論文名
S.Kakio, H.Nakamura, Y.Kanamori, Y. Nakagawa Reversal Phenomenon in Phase Velocity of Surface Acoustic Waves on Free and Metallized Surfaces by Proton-Exchange
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn.J.Appl. Phys. 38 ??? 3261-3264 1999

全著者名 論文名
T.Omori, M.Tajima, J.Akasaka, K.Hashimoto, M.Yamaguchi Design of weighted reflectors and their application to surface acoustic wave bandpass filter
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn.J.Appl.Phys. 39 5B 3024-3027 2000

全著者名 論文名
S.Kanno, T.Omori, K.Hashimoto, M.Yamaguchi Effects of dielectric overlay upon SAW propagation under metallic grating structure
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys 40 ??? 3759-3761 2001

全著者名 論文名
K.Nakamura SHEAR HORIZONTAL-MODE SURFACE ACOUSTIC WAVES AND THEIR COLLINEAR INTERACTION WITH LIGHT WAVES
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
ACTA PHYSICA SINICA 8 ??? S178-S184 1999

全著者名 論文名
K.Yamanouchi Super High Electromechanical Coupling and Zero Temperature Coefficient Surface Acoustic Wave Substrates in KNbO3 Single Crystal
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. Ultrason. Ferroelect. Freq. Contr. 46 3 700-705 1999

全著者名 論文名
K.Yamanouchi, H.Nakagawa, J.A.Qureshi and H.Odagawa 10GHz-Range Surface Acoustic Wave Low Loss Filter Measured at Low Temperature
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 5B 3270-3274 1999

全著者名 論文名
H.Odagawa, K.Kotani, Y.Cho and K.Yamanouchi Observation of Ferroelectric Polarization in KNbO3 Thin Films and Surface Acoustic Wave Properties
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 5B 3275-3278 1999

全著者名 論文名
Y.Cho Scanning Nonlinear Dielectric Microscope for Investigation of Ferroelectric Domains
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Ferroelectrics 222 1-4 189-196 1999

全著者名 論文名
Y.Cho Temperature Coefficient Image of Dielectric Materials using Scanning Photothermal Dielectric Microscope
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Ferroelectrics 222 1-4 337-344 1999

全著者名 論文名
Y.Cho Determination of the Temperature Coefficient Distribution of Dielectric Ceramics Using Scanning Photothermal Dielectric Microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Am. Ceram. Soc. 82 7 1720-1724 1999

全著者名 論文名
Y.Cho, S.Kazuta, K.Matsuura Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy with Contact Sensing Mechanism for Observation of Nano-Meter Sized Ferroelectric Domains
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 9B 5689-5694 1999

全著者名 論文名
Y.Cho Scanning nonlinear dielectric microscopy with nanometer resolution
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Appl. Phys. Lett. 72 18 2833-2835 1999

全著者名 論文名
Takanaga, J.Hirohashi and J.Kushibiki Homogeneity Evaluation of LiNbO3 and LiTaO3 single crystals for determining acoustical physical constants
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 5B 3201-3230 1999

全著者名 論文名
J. Kushibiki, T.Kobayashi, H.Ishiji and C.K.Jen Surface-acoustic-wave properties of MgO-doped LiNbO3 single crystalsmeasured by line-focus-beam acoustic microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 85 11 7863-7868 1999

全著者名 論文名
J. Kushibiki and T.Okuzawa Line-focus-beam acoustic microscopy detection of variations of growing conditions of LiTaO3 Crystals
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn.J. Appl. Phys. 38 8B L964-966 1999

全著者名 論文名
Takanaga and J.Kushibiki Elastic constants of multidomainLiTaO3 crystal
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 86 6 3342-3346 1999

全著者名 論文名
J. Kushibiki Accurate measurements of the acoustical physical constants of LiNbO3 and LiTaO3 single crystals
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 46 5 1315-1323 1999

全著者名 論文名
Y. Ohashi, J.Kushibiki Correction of velocity profiles on thin specimens measured by line-focus-beam acoustic microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 10B L1197-L1200 1999

全著者名 論文名
J. Kushibiki Influence of reflected waves from the back surface of thin solid-plate specimen on velocity measurements by line-focus-beam acoustic microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 47 1 274-284 2000

全著者名 論文名
J. Kushibiki, T.C.Wei, Y.Ohashi and A.Toda Ultrasonic microspectroscopy characterization of silica glass
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 87 6 3113-3121 2000

全著者名 論文名
S.Kakio, K.Hishinuma and Y.Nakagawa Suppression of bulk wave radiation from leaky surface acoustic waves by loading with thin dielctric films
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 87 3 1440-1447 2000

全著者名 論文名
K. Ibata Polynomial approximation of SAW reflection characteristics for fast device simulation tools
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 ??? 3293-3296 1999

全著者名 論文名
T. Omori, M.Tajima, J.Akasaka, K.Hashimoto and M.Yamaguchi Design of weighted reflectors and their application to SAW bandpass filter
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J.Appl. Phys. 39 ??? 3024-3027 2000

全著者名 論文名
T.Omori, M.Tajima, J.Akasaka, K.Hashimoto, M.Yamaguchi Design of weighted reflectors and their application to surface acoustic wave bandpass filter
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn.J.Appl.Phys. 39 5B 3024-3027 2000

全著者名 論文名
Y.Cho, K.Matsuura, S.Kazuta, H.Odagawa and K.Yamanouchi Observation of Ultrathin Single-Domain Layers Fromed on LiTaO3 and LiNbO3 Surface Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscope with Submicron Resoltion
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 ??? 3279-3282 1999

全著者名 論文名
中村僖良、加藤昌法 強誘電反転ドメインの形成と超音波トランスジューサへの応用(招待論文)
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
電子情報通信学会論文誌 J82-C1 12 728-734 1999

全著者名 論文名
K.Nakamura and Y.Kato Formation of ferroelectric inverted domains and their applications to ultrasonic transducers (Invited)
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Trans.IEICE J82-C1 12 728-734 1999

全著者名 論文名
櫛引淳一、小野雄、高長和泉 SAWデバイス用LiNbO3, LiTaO3単結晶の超音波マイクロスペクトロスコピー（招待論文）
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
電子情報通信学会論文誌 J82-C1 12 715-727 1999

全著者名 論文名
J.Kushibiki, Y.Ono and I.Takanaga Ultrasonic micro-spectroscopy of LiNbO3 and LiTaO3 single crystals for SAW devices (Invited)
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Trans.IEICE J82-C1 12 715-727 1999

全著者名 論文名
中川恭彦、八幡充洋、垣尾省司 弾性表面波による光弾性強調現象と光変調素子への応用
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
電子情報通信学会論文誌 J82-C-I 12 749-756 1999

全著者名 論文名
Y.Nakagawa, M.Yawata and S.Kakio Enhancement of photoelasticity assisted by surface acoustic wave and its application to the optical modulator
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Trans.IEICE J82-C-I 12 749-756 1999

全著者名 論文名
橋本研也、小川正太郎、野々口晃典、大森達也、山口正恆 対向ターゲットスパッタ法による圧電性酸化亜鉛薄膜の作製
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
電子情報通信学 J82-C-I 12 777-783 1999

全著者名 論文名
K.Hashimoto, S.Ogawa, A.Nonoguchi, T.Omori and M.Yamaguchi Preparation of piezoelectric ZnO thin films by target facing type of sputtering method
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Trans.IEICE J82-C-I 12 777-783 1999

全著者名 論文名
H.-B.Kang, K.Yoshida and K.Nakamura Growth of ZnO thin films on LiNbO3 substrates by electron cyclotron resonance-assisted molecular beam epitaxy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 37 9B 5220-5223 1998

全著者名 論文名
J. Kushibiki A method for calibrating the line-focus-beam acoustic microscopy system
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 45 2 421-430 1998

全著者名 論文名
J.Kushibiki, Y.Ohashi and M.Arakawa Precise velocity measurements for thin specimens by line-focus-beam acoustic microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 ??? L89-L91 1998

全著者名 論文名
J.Kushibiki and Y.Ohashi Theoretical and experimental considerations on line-focus-beam acoustic microscopy for thin specimens
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 ??? L342-L344 1998

全著者名 論文名
Y.Sakamoto, K.Hashimoto and M.Yamaguchi Begaviour of leaky surface acoustic wave propagation at discontinuous region of periodic grating
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 37 ??? 2905-2908 1998

全著者名 論文名
K.Ibata, T.Omori, K.Hashimoto and M.Yamaguchi Polynomial approximation of SAW reflection characteristics for fast device simulation tools
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 38 ??? 3293-3296 1999

全著者名 論文名
K.Yamanouchi Piezoelectric KNbO3 films for SAW device applications
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Electrinics Letters 34 7 702-703 1998

全著者名 論文名
H.Odagawa 10GHz range extremely low-loss surface acoustic wave filter
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Electronics Letters 34 9 865-866 1998

全著者名 論文名
K.Yamanouchi, H.Odagawa, K.Morozumi and Y.Cho A surface acoustic wave elastic convolver using KNbO3 single crystal substrate
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys 37 5B 2993-2935 1998

全著者名 論文名
K.Yamanouchi, K.Kotani and H.Yao Phase modulation of the light wave propagating in an optical fiber by acoustic wave
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 37 5B 2887-2890 1998

全著者名 論文名
H.Odagawa, J.A.Qureshi, T.Meguro and K.Yamanouchi 10GHz range low loss ladder type surface acoustic wave filter
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 37 5B 2927-2928 1998

全著者名 論文名
H.Odagawa and K.Yamanouchi Super high electromechanical coupling and zero-temperature characteristics of KNbO3 and wide band filter applications
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 37 5B 2929-2932 1998

全著者名 論文名
Y.Cho and K.Yamanouchi Fundamental studies on scanning electron-beam dielectric microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 37 9B 5349-5352 1998

全著者名 論文名
T.Sato, M.Murota and Y.Shimizu Characteristics of Rayleigh and leaky SAW propagating on La3Ga5SiO14 substrate
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 37 5B 2914-2917 1998

全著者名 論文名
H.B.Kang, K.Nakamura, K.Yoshida and K.Ishikawa Single-crystalline ZnO films grown on (0001) Al2O3 substrate by electron syclotron resonance-assisted molecular beam epitaxy technique
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 7B L933-L935 1997

全著者名 論文名
K.Nakamura and M.Oshiki Theoretical analysis of horizontal shear mode piezoelectric surface acoustic waves in potassium niobate
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Appl. Phys. Lett. 71 22 3203-3205 1997

全著者名 論文名
H.B.Kang, K.Nakamura, S.H.Lim and D.Shindo Epitaxial growth of ZnO films on (0001) sapphire at low temperatures by electron cyclotron resonance-assisted molecular beam epitaxy and their microstructural characterizations
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 37 3A 871-785 1998

全著者名 論文名
T.Mizuno, K.Yamada and K.Nakamura Characteristics of a conical piezocomposite transducer with an apodized vibration area
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3016-3019 1997

全著者名 論文名
Y.Cho, S.Atsumi and K.Nakamura Scanning nonlinear dielectric microscope using limped constant resonator probe and its application to investigation of ferroelectric polarization distributions
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3152-3156 1997

全著者名 論文名
H.Odagawa, T.Kojima, T.Meguro, Y.Wagatsuma and K.Yamanouchi GHz-range conventional λ/4 unidirectional surface acoustic wave transducers and their application to low-loss and zero-temperature coefficient filters
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3087-3090 1997

全著者名 論文名
M.Dakeuchi, H.Odagawa, M.Tanaka and K.Yamanouchi Low-loss surface acoustic wave filter on natural-single phase unidirectional transducer orientations of a Li2B4O7 substrate
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3091-3095 1997

全著者名 論文名
T.Suetsugu, T.Yamazaki, S.Tomabechi, K.Wada, K.Masu and K.Tsubouchi AlN epitaxial growth on atomically flat initially nitrided α-Al2O3 wafer
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Appl. Surface Science 117/118 ??? 540-545 1997

全著者名 論文名
J.Kushibiki and I.Takanaga Electric properties of single- and multi-domain crystals of LiTaO3
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 81 10 6906-6910 1997

全著者名 論文名
Tourlog, J.D.Achenbach and J.Kushibiki Line-focus acoustic microscopy measurements of acoustic properties of LiTaO3 crystal plates with an inversion layer
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
J. Appl. Phys. 81 10 6616-6621 1997

全著者名 論文名
J.Kushibiki and M.Miyashita Characterization of domain-inverted layers in LiTaO3 by line-focus-beam acoustic microscopy
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 7B L959-L961 1997

全著者名 論文名
J.Kushibiki and M.Arakawa A method for calibrating the line-focus-beam acoustic microscopy system
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
IEEE Trans. UFFC 45 2 421-430 1997

全著者名 論文名
M.Watanabe, S.Kakio and Y.Nakagawa Fabrication of thin film phase grating using surface acoustic waves
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3119-3120 1997

全著者名 論文名
S.Kakio and Y.Nakagawa Propagation Characteristics of leaky surface acoustic wave on Proton-exchanged 36oY-X LiTaO3
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3064-3067 1997

全著者名 論文名
N.Hanajima, S.Tsutsumi, T.Yonezawa, K.Hashimoto, R.Nanjo and M.Yamaguchi Ultrasonic properties of lead zirconate thin films in UHF-SHF range
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 6B 6069-6072 1997

全著者名 論文名
T.Yamashita, K.Hashimoto and M.Yamaguchi Highly piezoelectric shear-horizontal-type boundary waves
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3057-3059 1997

全著者名 論文名
T.Sato, A.Nishikata and Y.Shimizu Characteristics of surface acoustic waves propagating on a La3Ga5SiO14 substrate
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3068-3070 1997

全著者名 論文名
中村僖良、安達義徳 ニオブ酸リチウム単結晶を用いた圧電トランス
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
電子情報通信学会論文誌 J80-A 10 1694-1698 1997

全著者名 論文名
K.Nakamura and Y.adachi Piezoelectric transformers using LiNbO3 single crystals
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Trans. IEICE J80-A 10 1694-1698 1997

全著者名 論文名
中川恭彦、渡辺昌彦、八幡充洋、垣尾省司 弾性表面波アシストによる薄膜位相格子の作成
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
電子情報通信学会論文誌 J80-A 10 1782-1787 1997

全著者名 論文名
Y.Nakagawa, M.Watanabe, M.Yawata and S.Kakio Fabrication of thin film phase grating assisted by surface acoustic waves
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Trans.IEICE J80-A 10 1782-1787 1997

全著者名 論文名
垣尾省司、青山和史、中川恭彦 プロトン交換による弾性表面波のバルク波放射の抑圧
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
電子情報通信学会論文誌 J80-A 11 1830-1837 1997

全著者名 論文名
S.Kakio, K.Aoyama and Y.Nakagawa Suppression of bulk wave radiation of leaky surface acoustic wave by proton-excange
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Trans.IEICE J80-A 11 1830-1837 1997

全著者名 論文名
S.Kakio and Y.Nakagawa Propagation Characteristics of leaky surface acoustic wave on Proton-exchanged 36oY-X LiTaO3
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 5B 3064-3067 1997

全著者名 論文名
S.Kakio, K.Aoyama, A.Tsuchiya, and Y.Nakagawa Suppression of bulk wave radiation on leaky surface acoustic wave by proton-exchange
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
World Congress on Ultrasonics ??? ??? ??? 1997

全著者名 論文名
H.B.Kang, K.Nakamura, K.Yoshida and K.Ishikawa Single-crystalline ZnO films grown on (0001) Al2O3 substrate by electron cyclotron resonance-assisted molecular beam epitaxy technique
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 7B L933-L935 1997

全著者名 論文名
N.Hanajima, S.Tsutsumi, T.Yonezawa, K.Hashimoto, R.Nanjo and M.Yamaguchi Ultrasonic properties of lead zirconate thin films in UHF-SHF range
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Jpn. J. Appl. Phys. 36 6B 6069-6072 1997

全著者名 論文名
K.Yamanouchi, H.Odagawa, T.Kojima and T.Matsumura Theoretical and experimental study of super-high electro mechanical coupling surface acoustic wave propagation in KNbO3 single crystal
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
ELECRONICS LETTERS 33 3 193 1997

全著者名 論文名
T.Suetsugu, T.Yamazaki, S.Tomabechi, K.Wada, K.Masu, K,tsubouchi ALN epitaxial growth on atomically flat initially nitrided α-Al2O3 wafer
学術雑誌名 巻 号 ページ 発行年
Appl. Surface Science 117/118 ??? 540-545 1997

B.国際会議発表論文（International Conferences）
全著者名 論文名
Y.Cho Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy for Investigation of Nano-Meter Sized Ferroelectric Polarization
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
The 7th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy Proceedings ??? ??? 34-??? 1999

全著者名 論文名
K. Tsubouchi Wireless Multimedia: SS-CDMA Technology,"Proceedings of International Symposium on Future of Intellectual Integrated Electronics
会議名 開催場所 論文番号 ページ 発行年
ISFIIE Sendai ??? 259-268 1999

C.著書（Books）
全著者名 書名
K.Hashimoto, T.Omori and M.Yamaguchi Analysis of SAW Excitation and Propagation Under Periodic Metallic Grating Structures$Advances in Surface Acoustic Wave Technology, Systems and Applications, Vol. 1
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
World Scientific ??? ISBN981-02-4414-2 133-182 2000

全著者名 書名
K.Hashimoto Surface Acoustic Wave Devices in Telecommunications
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
Springer-Verlag Germany ISBN3-540-67232-X 330 2000

全著者名 書名
橋本研也 弾性表面波(SAW)デバイスシミュレーション技術入門
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
リアライズ社 東京 ISBN4-947655-99-2 364 1997

全著者名 書名
K.Hashimoto Simulation technology of surface acoustic wave (SAW) devices
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
Realize-sha Tokyo ISBN4-947655-99-2 364 1997

全著者名 書名
超音波便覧編集委員会編(2章 固体の弾性と超音波伝搬 pp.21-83 (編集執筆・清水), pp.54-60 (執筆・橋本), pp.62-75 (執筆・山口), 3章 超音波の送波と受波 pp.87-140 (編集執筆・中村), pp.102-112(執筆・山田), pp.120-125(編集・櫛引), 4章 光と超音波 pp.143-177 (編集執筆・山之内), 5章 超音波の非線型現象 pp.213-216, 220-225 (執筆・中川), pp.216-220 (執筆・長), 11章 弾性波デバイス pp.569-658 (編集執筆・山口), pp.575-579, 585-591 (執筆・平間), pp.600-610 (執筆・山本), pp.632-637 (執筆・坪内)) 超音波便覧
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
丸善 東京 ISBN4-621-04633-0 751 1997

全著者名 書名
Ultrasounds handbook editing committee Ultrasounds handbook
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
Maruzen Tokyo ISBN4-621-04633-0 751 1997

全著者名 書名
H.-B.Kang, K.Nakamura and K.Ishikawa Epitaxial Oxide Thin Films III$Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol.474
出版者名 出版場所 ISBN番号 ページ 発行年
Materials Research Society ??? ISBN1-55899-378-9 395-400 1997

戻る