| 産学協力研究委員会名 | 光エレクトロニクス第130委員会 | |
| 研究プロジェクト名 | 「高機能空間光変調を用いた極限情報処理」 | |
| （英文名） | Ultimate Information Proceeding Devices and Ｓystems Using High-Functional Spatial Light Modulation Ｍethod | |
| 研究期間 | 平成９年度 〜 平成１３年度 |
| プロジェクト・リーダー名 | 研究経費 | ４２０，３４０千円 | ||
| 氏名・所属研究機関 所属部局・職名 |
後藤顕也 ・東海大学 ・開発工学部 ・教授 | 内訳 | 平成 ９年度 | ９０，４４６千円 |
| 平成１０年度 | ８５，９２４千円 | |||
| 平成１１年度 | ６７，９７０千円 | |||
| 平成１２年度 | ８６，０００千円 | |||
| 平成１３年度 | ９０，０００千円 | |||
１．研究組織
| 氏名 | 所属機関・部局・職 | 研究プロジェクトでの役割分担 |
| 佐々木雅美 | 東海大学・開発工学部・教授 | 媒体とﾍｯﾄﾞ間の潤滑剤に関する研究 |
| 千葉 雅史 | 東海大学・開発工学部・助教授 | 光磁気薄膜媒体に関する研究 |
| 柳沢 雅広 | 日本電気(株)機能ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ研究所・主幹研究員 | コンタクトヘッドに関する研究 |
| 小山二三夫 | 東京工業大学・精密工学研究所・教授 | 垂直共振器表面発光半導体ﾚｰｻﾞｰの研究 |
| 高原 淳一 | 大阪大学・大学院基礎工学研究科・講師 | 金属細線による光のガイドの研究 |
| 小林 駿介 | 山口東京理科大学・基礎工学部・教授 | 高精細液晶デスプレイに関する研究 |
２．研究計画の概要
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現在の光ディスクや磁気ディスクにおける記録密度の限界は数10Ｇｂｉｔ/in2とされている。すなわち，光の場合に，どんなに波長を短くしても，またどんなに開口数の大きな対物レンズを用いても，現在技術では光波回折現象のために光ビームのビームウエストサイズを数100nm以下に小さくすることは出来ない。さらに，現在の技術では記録・再生のデータ転送レートを数10Mｂｐｓ以上に速くすることが出来ない。そこで本研究では，近接場光学技術ならびに，日本で発明された垂直共振器表面発光半導体レーザー（VCSEL）の二次元アレイとを用いて，超高密度書き込み読み出しが可能で，かつ超高速な記録・再生のでき得る画期的な新方式の近接場プローブ光ヘッドの基礎研究を行うものである。そのために，まず，必要なことは現在の極端に低い近接場光プローブのスループット（レーザーからの出力光を近接場プローブの微小開口からのエバネッセント光への変換効率）を4桁から5桁も引き上げることである。すなわち，現在の光ファイバープローブの場合に，開口100nmで10-6，開口10nmで10-9というスループットを本研究によって，画期的な値（10-1〜2）に引き上げると同時に，二次元VCSELアレイに対応させる方法を開発することである。 |
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(1)半導体，誘電体，金属にも適用できる時間領域差分(FDTD)法による電磁波解析手法の確立。 (2)表面プラズモン・ポラリトンの応用による電磁波増強現象解析と近接場プローブアレイへの適用。 (3)高屈折率材料の半導体によるプローブ高さとプローブ開口サイズの揃った近接場プローブアレイの開発手法の確立。 (4)各VCSEL素子の光出力を効率よく近接場プローブ尖端開口へ集光させる為の高開口数半導体マイクロレンズアレイ製作プロセスの確立。 (5)高屈折率半導体球面マイクロレンズ表面に高性能反射防止多層膜をコートする技術開発。 (6)半導体近接場光プローブとマイクロレンズアレイとを一体化させる特殊なセルフ・アライメント技術開発。 (7)VCSELアレイとの集積化による超高密度記録立証。 (8)FDTD法を使用したVCSELへのわずかな戻り光によるVCSELのインピーダンス変化の解析。 (9)VCSELへのわずかな戻り光によるVCSELのインピーダンス変化を検出することによる信号再生立証。 (10)光ヘッドと光ディスク表面とのギャップを一定に保つコンタクトタイプのギャップ測定技術確立。 (11)表面粗さが数nmの相変化型光ディスク媒体，表面保護膜ならびに潤滑剤塗布後の性能評価技術の確立。 (12)TbFeCo系光磁気ディスク媒体による記録・再生実験と記録済み媒体からの磁気抵抗素子による信号再生実験の確立。 |
| ４−１ 研究計画、目的に対する成果 |
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(1) 半導体，誘電体，金属にも適用できる時間領域差分(FDTD)法による電磁波解析手法を確立することが出来た。その結果，他の企業（リコー中央研究所）や他の大学（東工大の大津元一研究室）から本手法の使用を求められ，提供した。論文発表済み。 (2) 表面プラズモン・ポラリトンの応用による電磁波増強現象解析と近接場プローブアレイへの適用。FDTD法による近接場プローブアレイへの適用により，２桁から３桁の電界増強効果が観察され，かつ，周期的な場においてはこの効果が顕著であることが判明した。残念ながら現在，波長400nm前後で発振する二次元VCSELアレイが開発されていないので，実験による実証は単一素子の場合に限られるが，このことは2002年4月中に特許申請予定で準備している。 (3) 高屈折率材料の半導体によるプローブ高さとプローブ開口サイズの揃った近接場プローブアレイの開発手法を確立出来た。波長850nmVCSELアレイに対してはSiアレイ近接場プローブが全て同じ高さの素子開発に成功した。また，波長670nmVCSELアレイに対してはGaPアレイ近接場プローブの開口がほとんど同じサイズであり，一度に全アレイに開口穿孔できる技術を開発し，特許申請を行った。論文発表済み。 (4) 各VCSEL素子の光出力を効率よく近接場プローブ尖端開口へ集光させる為の高開口数半導体マイクロレンズアレイ製作プロセスを確立することが出来た。レンズ直径10μmの場合には球面レンズと非球面レンズとの曲率差はほとんど無く，フォトレジストレンズをRIE（反応性イオンエッチング）によって半導体結晶に転写する際に，ガス厚や放電パワーによってエッチングレートを変化させることができるので，表面形状を自在に変えることができる。今後国際学会にて発表予定。修士論文発表済み。 (5) 高屈折率半導体球面マイクロレンズ表面に高性能反射防止多層膜をコートする技術を開発。ECRスパッタ技術により高屈折率半導体材料の屈折率の平方根に相当する屈折率材料をこの半導体レンズ表面に成膜する必要があるが，ECRのSiターゲットからのSiイオンに酸素と窒素の混合気体を反応させることにより高性能な反射防止成膜技術を確立できた。論文発表済み。 (6) 半導体近接場光プローブとマイクロレンズアレイとを一体化させる特殊なセルフ・アライメント技術を開発した。将来の400nmVCSEL完成時には問題ないものの， 670nm赤色VCSEL光に感光するフォトレジスト材料が開発されていない現状では，通常のフォトレジストの上に赤外線フィルムの乳剤を密着接合（コート）し，VCSELからのマイクロレンズによる収束赤色光を用いて，大きめのマスクを形成する。このマスクによりUV光にて半導体異方性エッチングを行い，マイクロレンズと近接場プローブ尖端のセルフ・アライメントを行わせる。アレイ全体で同時加工ができることが特徴である。特許申請済み。国際学会発表予定。 (7) VCSELアレイとの集積化による超高密度記録立証とFDTD法を使用したVCSELへのわずかな戻り光によるVCSELのインピーダンス変化の解析。論文発表済み。 (8) VCSELへのわずかな戻り光によるVCSELのインピーダンス変化を検出することによる信号再生立証と光ヘッドと光ディスク表面とのギャップを一定に保つコンタクトタイプのギャップ測定技術確立。修士論文。 (9) 表面粗さが数nmの相変化型光ディスク媒体，表面保護膜ならびに潤滑剤塗布後の性能評価技術の確立。修士論文発表済み。 (10)TbFeCo系光磁気ディスク媒体による記録・再生実験と記録済み媒体からの磁気抵抗素子による信号再生実験を確立した。海外論文発表済み。 |
| ４−２ 研究計画、目的外の成果 |
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(1) 市販されているFDTD（時間領域差分）法という電磁波等微分方程式の数値計算ソフトが，通常は誘電体のみしか適用できない。金属では発散してしまって，解が得られない。我々は，近接場光プローブを設計し，尖端開口から得られるエバネッセント波の値を求めるために，尖端以外を金属でカバーする必要がある。金属の複素屈折率の虚数部（消衰係数ｋ）を負にして計算すれば，解が得られることがわかった。今後のFDTD法を用いて解く微分方程式の協会条件へ適用することにより，自由度が大きく広まった。 (2) 現在のDVD-Rにはかなり大きな制約があり，CD-Rカードのような形態は取れないことがわかった。(内径55mm以内にユーザーが使える領域はない。)そこでDVD+RW方式を採用し，カードサイズで，2層構造かつ0.7mm厚の非常に耐久性のある新光カード(CD-Rカードは1.2ｍｍ厚で壊れやすく，かつユーザーデータ領域が50MB以下)かつ，大容量(350MB)方式を見い出した。 (3) 本研究による高性能二次元アレイ近接場プローブ技術は，単に光メモリーへの応用だけでなく，SNOM顕微鏡や光通信の高感度信号検出器としての応用も考えられる。 |
| ４−３ 研究成果の展望 |
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本研究の成果は二次元のVCSELアレイという微小光学素子を光源とすることならびに吸収のない，かつ屈折率の高い半導体結晶を用いてこのVCSEL出力光を微小スポットに収束できたこと。さらにセルフアライメント技術により，各光スポットに対応して，空中に放出されるエバネッセント波を増強させることができる表面プラズモン・ポラリトン発生を極めて効率よく行っているところにある。 (1) 有機材料を主体とするCrドープTiO2のゲル状フォトリソグラフィックレジスト膜（ポリマー）を自作。10μm厚のGaP結晶の片面にVCSELアレイと同期させた同軸的配置の高NAマイクロレンズ(ML)アレイを形成後に各VCSELの出力レーザー光を結晶板の反対側に収束させる。このときの収束ビームウエストサイズは波長とMLのNAとGaP屈折率とによって，約100nm前後となる。この光で前述のポリマー膜に感光させ，VCSELの各素子からの出力光を結晶中に小さなスポットサイズに収束させ，そのスポットに対応した開口を穿孔する（ネガティブ露光）。開口部以外は金薄膜（厚さ50nm程度）で覆ってある。二次元の周期的ナノ開口群から増強された100nm以下のスポットサイズのエバネッセント波が得られる。 (2) 前述のフォトレジストと同様な手法によりポジティブ露光により，各光スポット（ビームウエスト）部に金の微細粒子（理想的には10nmサイズ）を周期的に配置できる。このことによって，VCSELからの結晶内部での100nm以下のビームウエスト群に対応した金属微粒群を構成できる。このことはVCSELからの光が金属微粒素子群を励起し，表面プラズモン・ポラリトン発生を100倍から1000倍も増強させることができる。 (3) これらの成果を応用する場合，人類に大きな進歩をもたらすものと確信する。第一に二次元アレイを光ディスクの回転の接線方向に対してわずか傾けるだけで前述二次元アレイから得られるエバネッセント波群がお互いに重ならなくかつ，ディスクの半径方向へ等間隔に並ばせることができる。各VCSEL素子をたとえば1Mbpsで変調したとしても100×100アレイ全体では10,000本のエバネッセント波全体では10Gbpsとなる。このことはデータを連続的に記録し続けたり，連続的に再生する場合のデータ転送速度が従来には得られなかったリアルタイムで超高速が実現する。 (4) 従来の近接場プローブのスループット(光の入力パワーに対するプローブ開口からのエバネッセント波出力効率)が10-5〜10-9であったのに対して本研究の結果10-1〜10-3へ飛躍的に向上した。単一プローブではなく二次元アレイプローブであるので原子間引力などを用いた超精密位置制御が不要であることは特筆すべきことと思われる。したがって単に光ディスクへの応用だけでなく，各種計測や加工などにも適用できると思われる。 |
| ４−４ 本事業の趣旨に鑑み、果たした役割 |
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本事業は中国をはじめ東南アジアへ流出し，空洞化した日本の企業を新開発技術によって全く新しい技術を開発しそれを基に新産業振興を促すことにある。今回の5年間の研究によって原理的には従来考えることができなかった高効率近接場プローブ技術と近接場プローブアレイを実現しその光ディスクへの応用の道を開いた。しかしながら依然として垂直共振器表面発光半導体レーザー(VCSEL)の国産化がまだなされていない。逆にいえば応用がないためにVCSELの量産化が進められていないということができるかもしれない。したがって本研究をもとに国内の複数メーカーとともに実用的な二次元VCSELアレイと二次元マイクロレンズアレイならびに二次元エバネッセント波発生ヘッドという三次元微小光学デバイスの開発と実用化を進めることにより各家庭におけるテラバイト光ディスクドライブまたは各自の携帯電話の超小型・超高密度メモリー装置の開発と実用化を進めることによってVCSELアレイの需要を喚起すれば当初の目標に従った小型(ミリメータサイズ)で大容量(数10Gbyte)メモリーが実現するであろう。その時期は2010年頃と思われる。 |
５．キーワード
(1)近接場半導体光プローブ 、(2)二次元アレイ光ヘッド、(3)リン化ガリウム半導体プローブ
(4)マイクロレンズアレイ、(5)VCSELアレイ、(6)窒化カーボン保護膜
(7)時間領域差分法、(8)光ディスク、(9)高密度光記録
６．研究成果発表状況
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kazuma Kurihara, Young-Joo Kim and Kenya Goto | High-Throughput GaP Microprobe Array having Uniform Aperture Size Distribution for Near-Field Optical Memory | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Jpn.J.Appl.Phys | 41 | Part1, No.4A | 2034-2039 | 2002 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Shu-Ying Ye, Satoshi Mitsugi, Young-Joo Kim and Kenya Goto | Numerical Simulation of Readout Using Optical Feedback in the Intergrated Vertical Cavity Surface Emithing Laser Microprobe Head | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Jpn.J.Appl.Phys | 41 | Part1, No.3B | 1636-1637 | 2002 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 葉淑英，三木聡，金泳珠，後藤顕也 | VCSELプローブヘッドの光フィードバックによる再生メカニズム | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 東海大学紀要開発工学部 | 11 | 11 | 59-64 | 2002 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Shu-Ying Ye, Satoshi Mitsugi, Young-Joo Kim and Kenya Goto | Study on the Reading Mechanism Using Optical Feedback in the Integrated VCSEL Microprobe | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 11 | 11 | 59-64 | 2002 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Young-Joo Kim, Kazuhiro Suzuki and Kenya Goto | Paralle Recordign Array Head of Nano-Aperture Flat-Tip Probes for High-Density Near-Field Optical Data Storage | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Jpn.J.Appl.Phys | 40 | Part1, No.3B | 1783-1789 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Satoshi Mitsugi, Young-Joo Kim and Kenya Goto | Finite-Difference-Time-Domain Analysis for Electro-Magnetic Field Distribution on Near-Field Optical Recording Probe Head | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| OPTICAL REVIEW | 8 | 2 | 120-125 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也 | 高速・超高密度をめざしたVCSELアレイ応用光ディスク技術 | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| レーザー研究 | 29 | 8 | 511-515 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Optical Disk Technology Using VCSEL Array for High Speed and Ultrahigh Data Capacity | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Review of Laser Engineering | 29 | 8 | 511-515 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也 | ｢IT産業とレーザー技術｣特集号によせて | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| レーザー研究 | 29 | 8 | 486-487 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Perface on Special Issue for IT Industry and Laser Technology | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Review of Laser Engineering | 29 | 8 | 486-487 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 三木聡，金泳珠，後藤顕也 | FDTD法による光記録用光近接場ヘッドの電磁界分布の解析 | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 東海大学紀要開発工学部 | 10 | 10 | 83-92 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Satoshi Mitsugi,Young-Joo Kim and Kenya Goto | Analysis of Electric-Magnetic Field Distribution on Near-Field Optical Recording Heads by using the Finite Difference Time Domain Method | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 10 | 10 | 83-92 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 八木重典，丸山徹，永井治彦，伊沢孝男，鷲尾邦彦，長岐芳郎，後藤顕也，中沢正隆，遊津隆義 | 20世紀レーザーの変遷と未来にむかって | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| レーザー研究(社団法人レーザー学会) | 29 | 1 | 37-55 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Shigenori Yagi, Toru Maruyama, Haruhiko Nagai, Takao Izawa, Kunihiro Washio, Yoshiro Nagaki, Kenya Goto, Masataka Nakazawa and Takayoshi Yuuzu | Development of Lasers in the 20th Century and Prospect in the Future | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Review of Laser Engineering | 29 | 1 | 37-55 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也，三木聡，栗原一真，鈴木和拓，金泳珠，品田聡，小山ニ三夫，伊賀健一 | 高転送速度，高記録密度光ディスクヘッドの研究 | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| レーザー研究(社団法人レーザー学会) | 28 | 9 | 590-599 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto, Satoshi Mitsugi, Kazuma Kurihara, Kazuhiro Suzuki, Young-Joo Kim, Satoshi Shinada, Fumio Koyama and Kenichi Iga | High Data Transfer Rate and High Density Optical Disk Head | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Review of Laser Engineering | 28 | 9 | 590-599 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也，三木聡，品田聡，小山ニ三夫，伊賀健一 | 近接場光学応用テラバイト光ディスクの基礎研究(T)−超微細光ビーム用光源の研究− | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 東海大学紀要開発工学部 | 9 | 9 | 105-115 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto, Satoshi Mitsugi, Satoshi Shinada, Fumio Koyama and Kenichi Iga | Fundamental Research on Optical Disk with Application of Near Field Optics -Research for ultra-fine light beams for ultra-high density writing- | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 9 | 9 | 105-115 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 千葉雅史，森尾和正，佐々木雅美，柳沢雅広，後藤顕也 | 対向ターゲット型スパッタシステムを用いたGeSbTe薄膜に関する研究(第３報) | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 東海大学紀要開発工学部 | 9 | 9 | 175-183 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Masafumi Chiba, Kazumasa Morio, Masami Sasaki, Masahiro Yanagisawa and Kenya Goto | Study on GeSbTe Films Produced by Facing Targets Sputtering System Third Report: Optical Propeties and Microstructure of the films | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 9 | 9 | 175-183 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 森尾和正，千葉雅史，佐々木雅美，柳沢雅広，後藤顕也 | C/TbFeCo/Cr系薄膜の光磁気特性に与える各層の膜厚依存性の研究，東海大学紀要開発工学部 | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 9 | 9 | 185-191 | 2000 | |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kazumasa Morio, Masafumi Chiba, Masami Sasaki, Masahiro Yanagisawa and Kenya Goto | Effect of Each Layer on Magneto-Optical Properties in C/TbFeCo/Cr Films | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 9 | 9 | 185-191 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Young-Joo Kim, Kazuma Kurihara, Kazuhiro Suzuki, Mitsuru Nomura, Satoshi Mitsugi, Masafumi Chiba and Kenya Goto | Fabrication of Micro-Pyramidal Probe Array Aperture for Near-Field Optical Memory Applications | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Jpn.J.Appl.Phys | 39 | Part1, No.3B | 1538-1541 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Young-Joo Kim, Yutaka Hasegawa and Kenya Goto | The Development of a Novel Optical Floppy Disk Drive Using a Phase Change Optical Medium and a Quasi-Near-Field Optical Head | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Jpn.J.Appl.Phys | 39 | Part1, No.2B | 929-932 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Recent Technial Trends of Optical Memory(Invited) | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| IEICE Transactions on Electronics(The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers) | E82-C | 8 | 1446-1453 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也 | 光メモリーの発展と将来の展望(Invited) | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 応用物理 | 68 | 10 | 1171-1177 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Dvelopment and future prospects of Optical memory(Invited) | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Oyobuturi (The Japan Society of Applied Physics) | 68 | 10 | 1171-1177 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也 | 光ディスクヘッドの実装技術と将来技術動向(Invited) | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| エレクトロニクス実装学会誌 | 2 | 5 | 354-360 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Assembling Technology for Optical Disk Head and the Future Trends(Invited) | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Jounal of the Japan Assembling Electronics | 2 | 5 | 354-360 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto and A.V.Zvyagin | ソリッドイマージョンレンズを使用した高転送レート高密度光記録の計算 | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 東海大学紀要開発工学部 | 8 | 8 | 25-36 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto and A.V.Zvyagin | Proposal of a New 18 GB Optical RAM Disk Head using a VCSEL Array and Curvature of Field Compensated Lenses | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 8 | 8 | 25-36 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 千葉雅史，森尾和正，佐々木雅美，柳沢雅広，後藤顕也 | 対向ターゲット型スパッタシステムを用いたGeSbTe薄膜に関する研究(第1報)−装置の提案ならびに構成と基本特性− | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 東海大学紀要開発工学部 | 8 | 8 | 97-106 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Masafumi Chiba, Kazumasa Morio, Masami Sasaki, Masahiro Yanagisawa and Kenya Goto | Study on GeSbTe Films Produced by Facing Targets Sputtering System First Report: Trial with an FTS Machine and Its Fundamental Properties | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 8 | 8 | 97-106 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 森尾和正，千葉雅史，佐々木雅美，柳沢雅広，後藤顕也 | 対向ターゲット型スパッタシステムを用いたGeSbTe薄膜に関する研究(第2報)−成膜レートならびに膜厚分布について− | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 東海大学紀要開発工学部 | 8 | 8 | 107-114 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Masafumi Chiba, Kazumasa Morio, Masami Sasaki, Masahiro Yanagisawa and Kenya Goto | Study on GeSbTe Films Produced by Facing Targets Sputtering System Second Report: the Deposition Rate and Distribution of the Film Thickness | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| The Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 8 | 8 | 107-114 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| A.V.Zvyagin and K.Goto | Mie scattering of evanescent waves by a dielectric sphere: Comparison of multipole expansion and group-theory methods | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Journal of the Optical Society of America(JOSAA) | 15 | 12 | 3003-3008 | 1998 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Young-Joo Kim, Ryo Tateno, Tomowo Ikura, Keita Matsuda, Hideki Kawai, Masahiko Suzuki and Kenya Goto | Electron Cyclotron Resonance(ECR) Sputtered Antireflection Coatings on Laser Facets Optical Memory Applications | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Jpn.J.Appl.Phys | 37 | Part1, No.4B | 2201-2202 | 1998 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Proposal of Ultrahigh Density Optical Disk System Using a Vertical Cavity Surface Emitting Laser Array | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| Jpn.J.Appl.Phys | 37 | Part1, No.4B | 2274-2278 | 1998 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也，長谷川豊，金泳珠，鈴木正彦，立野亮，河合秀樹，松田慶太，伊倉智雄，江見隆志，半田美和子，寺田雅紀，高柳知幸，土山智洋，金子敏信，野島崇，穂積重則 | 高性能AR膜端面を持つLDヘッドでのレンズレス光FDの信号再生特性−レンズレス光フロッピーディスクシステム開発(3)− | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| 東海大学紀要開発工学部 | 7 | 7 | 81-92 | 1998 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto, Yutaka Hasegawa, Young-Joo Kim, Masahiko Suzuki, Ryo Tateno, Hideki Kawai, Keita Matsuda, Tomowo Ikura, Takashi Emi, Michiko Handa, Masaki Terada, Tomoyuki Takayanagi, Tomohiro Tsuchiyama, Toshinobu Kaneko, Takashi Nojima and Shigenori Hozumi | The Signal Reading Study for a Lensless Optical Floppy Disk System Using the Laser Diode with a Good AR Coating | |||
| 学術雑誌名 | 巻 | 号 | ページ | 発行年 |
| he Bulletin of School of High-Technology for Human Welfare Tokai University | 7 | 7 | 81-92 | 1997 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也 | VCSELが拓く超高速・超高密度光メモリー技術(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| 東京工業大学 精密工学研究所主催 第33回精研シンポジウム，光エレクトロニクスのゆくえ−技術と産業−予稿集 | 神奈川サイエンスパー | A-3 | 9-12 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | 2-D VCSEL and Pyramidal Prism Probe Array(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| The 33th P & I Symposium, The Future of Opt-Electronics -Technology & Industry- | Kanagawa Science Par | A-3 | 9-12 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也，栗原一真，鈴木和拓，三木聡，佐藤圭一，山口徹，村上敏明，金泳珠，小野崇人 | 高速・超高密度をめざしたVCSELアレイ応用光ディスク技術の将来(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| レーザー学会学術講演会第21回年次大会講演予稿集 主催: (社)レーザー学会 | 東京国際フォーラム | 31pX5 | S9-S10 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto, Kazuma Kurihara, Kazuhiro Suzuki, Satoshi Mitsugi, Keiichi Sato, Toru Yamaguchi, Toshiaki Murakami and Young-Joo Kim, /Takahito Ono | Future Technology of Optical Disk Using for High Speed and Ultra Density Applied Vertical Cavity Surface Emitting Laser Array (Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| 21st Annual meeting of The Laser Society of Japan Digest of Technical Papers | Tokyo,Japan | 31pX5 | S9-S10 | 2001 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也 | テラビットへの光メモリ技術と応用システム(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| 第12回微小光学特別セミナー(2000)，微小光学の先端技術−その市場性と競合技術− | 石垣記念ホール | ??? | 77-90 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Optical Memory Technology and Its Application System to Tera bits/in2(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| The 12th Special Seminar for Micro Optics (2000) | Ishigaki Memorial Ha | ??? | 77-90 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| 後藤顕也 | 高速・高密度光ディスクの新方式と基礎実験報告(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| 2000年度電気関係学会東海支部連合大会 | 静岡大学浜松キャンパ | S6-1 | S49-S50 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Report of fundamental experiments for a new method of high speed transfer rate and high density optical disk system (Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| Record of 2000 Tokai-Section Joint Conference of the Eight Institutes of Electrical and Realated Engineers Technical Digest | Hamamatsu-city, Shiz | S6-1 | S49-S50 | 2000 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto, Young-Joo Kim and Yutaka Hasegawa | Experiments of Noble Optical Floppy Disk Using Phase Change Optical Medium and Quasi-Near Field Optical Head | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| ISOM/ODS'99 Joint International Symposium on Optical Memory and Optical Data Storage 1999(ISOM/ODS'99) | Sheraton Kauai Resor | MD5SPIE | 62-64 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Tera Bytes Optical Disk with Electric Tracking Control Using Micro-cavity VCSEL Array and PD array | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| 1997 Digest of the LEOS Summer Topical Meeting | Montrel,Quebec,Canad | MC4 | 21-22 | 1997 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | OPTICAL HEADS USING VCL ARRAYS WITH NANO METER SIZE OUTPUT TIP-WINDOWS FOR A TERA BYTE OPTICAL DISK | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| Joint MORIS/ISOM'97 | Yamagata,Japan | Th-L-03 | 184-185 | 1997 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | New Ultra High Density Optical Disk Head with Data Transfer Rate Using VCSEL Array(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| Workshop on Advanced Storage Technology | National University | ??? | ??? | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto and Kazuma Kurihara | High Speed VCSEL Array Head Tera Byte Optical Disk(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| CLEO/PacificRim'99 The Pacific Rim Conference on Lasers and Electron-Optics | Korea | FE1 | 1113-1114 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto, Young-Joo Kim, Yutaka Hasegawa, Mitsuru Nomura, Katsunori Ohtake and Chiharu Okamura | Novel Optical Floppy Consisting of Phase Change Media and Quase-Near Field Optical Head(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| PCOS'99(Advance of Phase Change Optical Recording for Digital Media,Proceeding of The 11th Symposium on Phase Change Optical Information Storage)/The Society of Phase Change Recording | Mishima,Japan | ??? | 1-5 | 1999 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Super High Density Optical Disk Device with Application of Vertical Cavity Surface Emitting Laser Aray | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| ICAPT'98(Invited)(The 1998 International Conference on Applications of Photonic Technology) | Ottawa,Ontario,Canad | 98T23 | ??? | 1998 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Ultrahigh Density Optical Disk Using Contact Optical Head with Parallel Light Beans and Near-Field Optics | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| OECC'98 Technical Digest | ??? | ??? | 530-531 | 1998 |
| 全著者名 | 論文名 | |||
| Kenya Goto | Ultra high density optical disk system(Invited) | |||
| 会議名 | 開催場所 | 論文番号 | ページ | 発行年 |
| APDSC'97(Asia-Pacific Data Storage Conference) | Chinese Association | ??? | 65 | 1997 |
| 全著者名 | 書名 | |||
| Editors:Herman J.Borg,Konrad Bussmann, William F.Egelhoff, Jr., Lambertus Hesselink, Sara A.Majetich, Edward S.Murdock, Bethanie J.H.Sradler,Manuel Vazquez, Matthias Wuttig, John Q.Xiao | Application of Ferromagnetic and Optical Materials, Storage and Magnetoelectronics | |||
| 出版者名 | 出版場所 | ISBN番号 | ページ | 発行年 |
| MRS(Materials Research Society) | Warrendale, Pennsylv | ISBN1-55899-610-9 | V2.4.1-V2.4.10 | 2001 |
| 全著者名 | 書名 | |||
| Terril Hurst Seiji Kobayashi | Optical Data Storage 2001 | |||
| 出版者名 | 出版場所 | ISBN番号 | ページ | 発行年 |
| SPIE | Washington USA | ISBN0-8194-4028-0 | 304-311 | 2001 |
| 全著者名 | 書名 | |||
| Henryk Birecki,James Z.Kwiecien | Optical Data Storage '97 | |||
| 出版者名 | 出版場所 | ISBN番号 | ページ | 発行年 |
| SPIE | Washington USA | ISBN0-8194-2530-3 | 192-195 | 1997 |