平成12年度未来開拓学術研究推進事業研究成果報告書概要



1.研究機関名 大阪大学
 
2.委員会名 半導体界面制御技術第154委員会
 
3.研究期間 平成8年度〜平成12年度
 
4.研究プロジェクト番号 96R15401
 
5.研究プロジェクト名 ダイヤモンドによる次世代電子エミッターの開発

6.プロジェクト・リーダー
プロジェクト・リーダー名 フリガナ 所属部局名 職名
伊藤 利道 イトウ トシミチ 大学院工学研究科 教授

7.コア・メンバー

8.研究協力者

研究協力者名 フリガナ 所属研究機関名・所属部局名 職名
平木 昭夫 ヒラキ アキオ 高知工科大学・連携研究センター 教授
小林 猛 コバヤシ タケシ 大阪大学・大学院基礎工学研究科 教授
八田 章光 ハッタ アキミツ 高知工科大学・電子・光システム工学科 助教授

9.研究成果の概要

本プロジェクトでは、気相合成ダイヤモンドの電子エミッター材料としての可能性を様々の角度から検討した結果、以下のことが判明した。水素吸着ダイヤモンドの表面構造や負性電子親和力及び酸素吸着によるその変化の要因を明らかにするとともに水素プラズマ処理したダイヤモンドに特有な表面伝導層の電気的特性を詳細に調べ、これらの性質を活用することにより、全く異なる2つの型、すなわち、ダイヤモンド自体に高電界を印加するダイオード型と、真空に電界を印加する電界放射型の平面電子エミッターを作製することに成功した。前者の場合、CVDダイヤモンドの高絶縁化、薄膜積層化及び微細化プロセスの開発により、高絶縁性ダイヤモンド薄膜中に高電界(=107 V/cm オーダー)を印加できるようになり、ほぼ100%の効率(駆動電流に対する放出電子電流比)の電子放出特性を有するダイオード型電子エミッターを試作した。この高効率動作機構は、キャリアの高電界下におけるインパクトイオン化機構に基づく伝導帯への電子励起により説明され、モンテカルロ法によるシミュレーションにより理論的にも裏付けられた。また、高電界印加可能な高絶縁性(高品質)ダイヤモンドを従来の成長速度(=1μm/h)を保ちながら作製できるマイクロ波プラズマCVDプロセスを開発した。他方、後者の場合には、大面積化や低温作製プロセスにも対応できる超微粒子ダイヤモンドが最適な形態の一つで、10 V/μm以下の低い平均電界強度でも放射電子電流が得られ、1 mA/cm2以上の放射電流密度が得られる電界放射型電子エミッターを試作した。

10.キーワード

(1)電子エミッター、(2)CVDダイヤモンド、(3)高絶縁性ダイヤモンド
(4)超微粒子ダイヤモンド、(5)負性電子親和力、(6)ダイオード型電子エミッター
(7)水素終端表面、(8)平面型電子エミッター、(9)電界放射型電子エミッター

11.研究発表(印刷中も含む)

[雑誌論文]
著者名 論文標題
H. Yagyu Intrinsic and Implantation-Induced Defects in CVD Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Physica Status Solidi (a) 154 1996 305-320

著者名 論文標題
T. Kita Transient Cathodoluminescence Spectroscopy of Synthetic Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 6・3 1996 139-145

著者名 論文標題
H. Nishiwaki Heteroepitaxy of GaS and GaSe on Diamond and GaAs Surfaces
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 6・3 1996 147-156

著者名 論文標題
J. H. Won Effect of Boron Inclusion on the Quality of Chemical Vapor Deposited Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 6・3 1996 171-180

著者名 論文標題
T. Kobayashi Prospect of Semiconducting Diamond Electronics
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 6・4 1996 199-216

著者名 論文標題
H. Miyake Effect of Oxygen Additive on Microwave-Plasma for Diamond Film Synthesis Studied by Plasma-Impedance-Measurement
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 35・7B 1996 L936-939

著者名 論文標題
S. Suzuki Observation of Capacitance Hunching at the Flat-Band-Voltage in Boron-Doped Diamond Metal/Insulator/Semiconductor Structure
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 35・8B 1996 L1081-L1084

著者名 論文標題
H. Yagi Hydrogen and Deuterium Profile in Homoepitaxially Grown CVD Diamonds by ERDA Method
雑誌名 発行年 ページ
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 118 1996 318-321

著者名 論文標題
T. Kita Electron-Beam Electroreflectance Spectroscopy of Semiconductors
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 35・10 1996 5367-5373

著者名 論文標題
八田章光 ダイヤモンド表面物性の評価・制御と電子エミッターの応用
雑誌名 発行年 ページ
真空 39・11 1996 618-625

著者名 論文標題
A. Hatta Diamond Film Growth by Pulse-Modulated Magnetoactive Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Thin Solid Films 281-282 1996 264-266

著者名 論文標題
H. Makita Ultrahigh Particle Density Seeding with Nanocrystal Diamond Particles
雑誌名 発行年 ページ
Thin Solid Films 281-282 1996 279-281

著者名 論文標題
N. Jiang Electron Microscopic Analysis of Chemical-Vapour Deposited Diamond Surface by a Novel Method
雑誌名 発行年 ページ
Thin Solid Films 281-282 1996 282-284

著者名 論文標題
J. H. Won The Investigation of Defect Formation in Chemical Vapor Deposited Diamond Using Photoluminescence by Ultraviolet Synchrotron Radiation
雑誌名 発行年 ページ
Applied Physics Letters 69・27 1996 4179-4181

著者名 論文標題
H. Suzuki Control of the Plasma and Measurement of Radicals for Diamond Film Synthesis in Vapor Phase
雑誌名 発行年 ページ
Proceedings of 13th Symposium on Plasma Processing AP962301 1996 57-60

著者名 論文標題
J. H. Won Photoluminescence Properties of CVD Diamond Excited by Ultra-Violet Synchrotron Radiation
雑誌名 発行年 ページ
Materials Research Society Symposium Proceedings 423 1996 717-722

著者名 論文標題
A. Hiraki Low-Temperature CVD of Diamond and NEA Surface of Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Proceedings of the International School of Physics "Enrico Fermi   1997 179-193

著者名 論文標題
S. Sonoda Effect of Nitrogen Incorporation on Electrical Properties of Boron-Doped Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Applied Physics Letters 70・19 1997 2574-2576

著者名 論文標題
N. Jiang Interfacial Analysis of CVD Diamond on Copper Substrates
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 6 1997 743-746

著者名 論文標題
J. H. Won Effects of Remote Hydrogen Plasma Treatment (RHPT) on Ion-Implanted CVD Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 6 1997 1041-1046

著者名 論文標題
八田章光 ダイヤモンド気相合成における基板バイアスによる核発生過程
雑誌名 発行年 ページ
電気学会プラズマ研究会資料 EP-97-5 1997 23-28

著者名 論文標題
平木昭夫 負性電子親和力ダイヤモンド半導体 ―ディスプレイ材料としての可能性―
雑誌名 発行年 ページ
応用物理 66・3 1997 235-241

著者名 論文標題
H. Yagi Initial Stage of Bias-Enhanced Diamond Nucleation Induced by Microwave Plasma
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 36・4B 1997 L507-L510

著者名 論文標題
伊藤利道 平面ディスプレイ用電子放出素子としてのCVDダイヤモンド
雑誌名 発行年 ページ
応用物理学会結晶工学分科会 107回研究会テキスト   1997 31-36

著者名 論文標題
八田章光 気相合成ダイヤモンドの電子デバイスへの応用
雑誌名 発行年 ページ
表面科学 18・6 1997 356-361

著者名 論文標題
Y. Shirakawa Hall Effect Measurement and Band Bending Calculation of Hydrogenated Diamond Thin Films Grown by Chemical Vapor Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 36・6 1997 3414-3417

著者名 論文標題
Y. Yun Surface State Density Distribution of Semiconducting Diamond Films Measured from Al/CaF2/I-Diamond Metal-Insulator Semiconductor Diodes and Transistors Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Journal of Applied Physics 82・7 1997 3422-3429

著者名 論文標題
C. L. Wang Investigation of Distribution of Defects and Impurities in Boron-Doped CVD Diamond Film by Cathodoluminescence Spectroscopy
雑誌名 発行年 ページ
Thin Solid Films 308-309 1997 279-283

著者名 論文標題
H. M. Jeon Large Area Diamond Nucleation on Si(001) Using Magnetoactive Microwave Plasma CVD
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 113-114 1997 244-248

著者名 論文標題
J. H. Won Remote Hydrogen Plasma Treatment (RHPT) of Ion Implanted CVD Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 113-114 1997 249-253

著者名 論文標題
N. Jiang Structural Analysis of Ion-Implanted Chemical-Vapor-Deposited Diamond by Transmission Electron Microscope
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 113-114 1997 254-258

著者名 論文標題
Y. Yun Thin Film CaF2 Stabilizing Effect on Single-Crystal Diamond Surface
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 117-118 1997 570-573

著者名 論文標題
H. Kawamura Cathodoluminescence Measurement of CVD Diamond Surface
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 117-118 1997 578-581

著者名 論文標題
T. Yamamoto Surface Observation of Beta SiC Substrate after Negative Bias Treatment in Diamond Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 117-118 1997 582-586

著者名 論文標題
N. Jiang Interface Characterization of Chemical-Vapour-Deposited Diamond on Cu and Pt Substrates Studied by Transmission Electron Microscopy
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 117-118 1997 587-591

著者名 論文標題
A. Hatta Electron Emitter Device of NEA Diamond Thin Film
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 117-118 1997 592-596

著者名 論文標題
牧哲朗 ダイヤモンド薄膜 ―ハードエレクトロニクス半導体の開拓―
雑誌名 発行年 ページ
材料 47・3 1997 221-226

著者名 論文標題
A. Hatta Electrical Properties of Boron-Doped Diamond Films Grown under the Control of Nitrogen Incorporation
雑誌名 発行年 ページ
Super Carbon   1998 151-154

著者名 論文標題
Y. Yokota Observation of Ultraviolet Cathodoluminescent Band from Boron-Doped Diamond Film Grown Epitaxially on Platinum Single Crystal
雑誌名 発行年 ページ
Super Carbon   1998 235-241

著者名 論文標題
A. Hatta Low Temperature Chemical Vapor Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Handbook of Industrial Diamonds and Diamond Films 27 1998 887-899

著者名 論文標題
A. B. M. O. Islam Surface Modification of B-Doped Diamond Films by GaS
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 8・4 1998 271-280

著者名 論文標題
H. Tanaka Electrical Stabilization of Diamond MIS Interface by Employing BaF2 Gate Insulator Crystal
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 8・4 1998 281-288

著者名 論文標題
Y. Yokota Temperature Dependence of 248 nm Cathodoluminescence Band from Heavily Boron-Doped Diamond Films Epitaxially Grown on Platinum
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 8・5 1998 347-354

著者名 論文標題
T. Kita Band-Edge Structure of Diamond Films Grown on Silicon
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 8・5 1998 355-360

著者名 論文標題
Y. Yun Electrical Stabilization of Diamond Film Surface for Electronic Device Application
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 8・5 1998 361-368

著者名 論文標題
N. Jiang Nitrogen Doping Effects on Electrical Properties of Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 37・10A 1998 L1175-L1177

著者名 論文標題
Y. Yun Electrical Stabilization of Diamond MIS Interface and MISFETs by Ultrahigh-Vacuum Process
雑誌名 発行年 ページ
Materials Research Society Symposium Proceedings 512 1998 217-222

著者名 論文標題
M. Nishimura Highly Efficient Electron Emission Diode of Single-Crystalline Chemical-Vapor-Deposition Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 37・9A/B 1998 L1011-L1013

著者名 論文標題
C. L. Wang Investigation of Surface of Boron-Doped CVD Diamond by Cathodoluminescent Spectroscopy
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 7 1998 748-752

著者名 論文標題
伊藤利道 単結晶ダイヤモンド膜からの高効率電子放出
雑誌名 発行年 ページ
電気学会 金属・セラミックス研究会資料 MC-98-10 1998 51-54

著者名 論文標題
Y. Yokota Edge Emission Observedin Heavily Boron-Doped Diamond Films Epitaxially Grown on Platinum
雑誌名 発行年 ページ
Applied Physics Letters 73・11 1998 1493-1495

著者名 論文標題
Y. Yun Electrical Properties of Al/CaF2/I-Diamond Metal-Insulator-Semiconductor Field-Effect-Transistor Fabricated by Ultrahigh-Vacuum Process
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 37・11A 1998 L1293-L1296

著者名 論文標題
T. Hosomi Role of Xenon Additive in Microwave Plasma-Assisted (H2+CH4) Chemical Vapor Deposition for Diamond Thin Film Growth
雑誌名 発行年 ページ
Journal of Applied Physics 84・11 1998 281-288

著者名 論文標題
Y. Koide Field Emission Characteristics of Non-Doped Polycrystalline Diamond Films Synthesized by MPCVD
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 8・6 1998 407-413

著者名 論文標題
N. Jiang Crystalline and Electrical Characteristics of N-Doped Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 8・6 1998 457-466

著者名 論文標題
C. L. Wang Fine-Structure Study on First-Order Diamond Raman Line of CVD Diamond Particles
雑誌名 発行年 ページ
Diamond Films and Technology 8・6 1998 467-475

著者名 論文標題
T. Ito Highly Efficient Electron Emission from Diode-Type Plane Emitters Using Chemical-Vapor-Deposited Single-Crystalline Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Applied Physics Letters 73・25 1998 3739-3741

著者名 論文標題
H. Tanaka Improved Stability of Metal-Insulator-Diamond Semiconductor Interface by Employing BaF2 Insulator Film
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 37・12A 1998 L1444-L1447

著者名 論文標題
T. Hosomi Role of Xenon Additive in Microwave Plasma-Assisted (H2+CH4) Chemical Vapor Deposition for Diamond Thin Film Growth
雑誌名 発行年 ページ
Journal of Applied Physics 84・11 1998 6059-6063

著者名 論文標題
A. Hatta Electron Emission from Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Israel Journal of Chemistry 38 1998 113-120

著者名 論文標題
河村秀樹 ダイヤモンド薄膜表面のカソードルミネッセンスによる評価
雑誌名 発行年 ページ
電気学会論文誌 A 118 1998 1011-1014

著者名 論文標題
T. Maki Present Research Status of Semiconducting Diamond Devices
雑誌名 発行年 ページ
Proceedings of the Electronics, Information and System Conference, IEE of Japan 7 1998 15-16

著者名 論文標題
伊藤利道 ダイヤモンドによる次世代電子エミッターの開発
雑誌名 発行年 ページ
生産技術誌 51・1 1999 63-66

著者名 論文標題
M. Nishimura Highly-Efficient at Electron Emitter of Single-Crystalline CVD Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 7 1999 754-758

著者名 論文標題
H. Yagi Surface Hydrogen Densities of Variously Treated CVD Diamond Surfaces
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 137 1999 50-56

著者名 論文標題
全炯敏 有滋場マイクロ波プラズマ気相合性装置内に付着した炭素薄膜の酸素プラズマによるエッチング
雑誌名 発行年 ページ
真空 42・3 1999 217-220

著者名 論文標題
A. Hatta Electrical Properties of B-Doped Homoepitaxial Diamond Films Grown from UHP Gas Sources
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 8 1999 1470-1475

著者名 論文標題
Y. Yokota Cathodoluminescence of Boron-Doped Heteroepitaxial Diamond Films on Platinum
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 8 1999 1587-1591

著者名 論文標題
H. Kawamura Fabrication and Characterization of Planar Diamond Electron Emitters
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 38・4B 1999 2622-2625

著者名 論文標題
Y. Yun Electrical Properties of Al/(BaXCa1-X)F2/i-Diamond Metal-Insulator-Semiconductor Structures
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 38・4B 1999 2626-2629

著者名 論文標題
Y. Yun Highly Improved Electrical Properties of Diamond Metal-Insulator-Semiconductor Field-Effect-Transistor Prepared by Ultrahigh Vacuum Process
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 38・4B 1999 2640-2645

著者名 論文標題
M. Shimomura Crystallinity Evaluation of Phosphorus-Doped N-Type Diamond Thin Film
雑誌名 発行年 ページ
Journal of Applied Physics 85・7 1999 3931-3933

著者名 論文標題
N. Jiang Electrical Properties of Surface Conductive Layers of Homoepitaxial Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Journal of Applied Physics 85・12 1999 8267-8273

著者名 論文標題
伊藤利道 ダイヤモンド表面からの電子放出-ディスプレイへの応用を目指して-
雑誌名 発行年 ページ
表面技術 50・6 1999 16-21

著者名 論文標題
H. M. Jeon Effect of Oxygen Component in Magnet-Active Microwave CH4/He Plasma on Large-Area Diamond Nucleation over Si
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 38 1999 4500-4503

著者名 論文標題
C. L. Wang Fabrication of Ohmic Contacts to Buried Diamond Layers Using Pt Layer in the Diamond Chemical-Vapor-Deposition Process
雑誌名 発行年 ページ
Applied Physics Letters 75 1999 1920-1922

著者名 論文標題
T. Sumitomo Fabrication of Diamond Films by Microwave Plasma CVD at Low Hydrogen Concentration
雑誌名 発行年 ページ
Transactions of the Materials Research Society of Japan 25・1 2000 305-308

著者名 論文標題
A. B. M. O. Islam Interface Formation between GaS and CVD Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Surface Science 448 2000 1-10

著者名 論文標題
C. L. Wang Chemical-Vapor-Deposited Diamond Overgrowth on Platinum Thin Films Deposited on Diamond Substrates
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 39・3A 2000 1286-1290

著者名 論文標題
T. Ito Properties of Electron Emitting Diode Fabricated with Single-Crystalline Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Material Research Society Symposium Proceedings 558 2000 105-110

著者名 論文標題
H. Kawamura Fabrication of Planar Diamond Electron Emitters for Flat Panel Displays
雑誌名 発行年 ページ
Material Research Society Symposium Proceedings 558 2000 155-160

著者名 論文標題
T. Maki Electronic Properties of Diamond Thin Film for Planar Diamond Electron Emitter Applications
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 159-160 2000 583-587

著者名 論文標題
A. B. M. O. Islam Characterization of GaS-Deposited CVD Diamond Films by AES & XPS
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 159-160 2000 588-593

著者名 論文標題
T. Maki X-Ray Photoelectron Spectroscopy Characterization of Diamond Thin Film Surfaces for Electronic Device Application
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 39・6B 2000 L575-L578

著者名 論文標題
M. Yokoyama Dependence of the Electron Affinity of Homoepitaxially Grown CVD Diamond on the Amount of Surface Oxygen
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science 162-163 2000 457-463

著者名 論文標題
A. Ito Improved Stability of Metal-Insulator-Diamond Semiconductor Interface by Employing CaF2/Thin BaF2 Composite Insulator Film
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 39・8 2000 4755-4756

著者名 論文標題
T. Ito Highly Efficient Electron Emitting Diode Fabricated with Single-Crystalline Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 9 2000 1561-1568

著者名 論文標題
C. L. Wang Growth and Characterization of Hillock-Free High Quality Homoepitaxial Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 9 2000 1650-1654

著者名 論文標題
八田章光 プラズマCVD法による高品質ダイヤモンドの合成
雑誌名 発行年 ページ
Journal of Plasma and Fusion Research 76 2000 833-841

著者名 論文標題
T. Kita Optical Characterization of Synthetic Diamond Films
雑誌名 発行年 ページ
Proceedings of the International Sosiety for Optical Engneering 4086 2000 535-539

著者名 論文標題
H. M. Jeon Nucleation-Enhancing Treatment for Diamond Growth over a Large Area Using Magnetoactive Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Journal of Applied Physics 88・5 2000 2979-2983

著者名 論文標題
T. Hosomi Enhanced Diamond Film Growth by Xe-Added Microwave Plasma CVD
雑誌名 発行年 ページ
Thin Solid Films 368 2000 269-274

著者名 論文標題
S. Kono Surface Order Evaluation of the Heteroepitaxial Diamond Film Grown on an Inclined β-SiC(001)
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 39 2000 4372-4373

著者名 論文標題
C. L. Wang High-Quality Homoepitaxial Diamond Films Grown at Normal Deposition Rates
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics 40・3A 2001 L212-L214

著者名 論文標題
S. Kono UHV μ-Electron Evaluation of the CVD Diamond Particles Grown on Si(001)
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 10 2001 48-58

著者名 論文標題
S. Endo Recovery Treatments for Ion-Induced Defects in High Quality Homoepitaxial CVD Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Diamond and Related Materials 10 2001 322-326

著者名 論文標題
S. Kono Secondary-Electron and Field-Emission Spectroscopy / Microscopy Studies of CVD Grown Diamond Particles
雑誌名 発行年 ページ
Surface Science   2001 in press

著者名 論文標題
B. S. Satyanarayana Filed Emission from Heterostrustured Cathodes Made of Nanoseeded Diamond and Nanodlustered Carbon
雑誌名 発行年 ページ
Materials Research Society Symposium Proceedings 621 2001 in press

著者名 論文標題
H. Murakami Photoemission Properties and Surface Structure of Homoepitaxially Grown CVD Diamond (100) Surfaces
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science   2001 in press

著者名 論文標題
S. M. Lee Properties of Thin MgO Films Grown on Single-Crystalline CVD Diamond
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science   2001 in press

著者名 論文標題
A. Hiraki Eletron-Emitter Fabricated at Low Temperature by Diamond-Nano-Seeding Technique
雑誌名 発行年 ページ
Applied Surface Science   2001 in press

著者名 論文標題
N. Jiang Characterization of N-Doped Diamond Films by Transmission Electron Microscopy
雑誌名 発行年 ページ
Journal of Crystal Growth   2001 in press

著者名 論文標題
C. L. Wang Boron-Doped Diamond Film Homoepitaxially Grown on High-quality Chemical-Vapor- Deposited Diamond (100)
雑誌名 発行年 ページ
Japanese Journal of Applied Physics   2001 in press


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