平成12年度未来開拓学術研究推進事業研究成果報告書概要



1.研究機関名 八戸工業大学
 
2.研究領域 理工
 
3.研究分野 次世代人工物質・材料の探査的研究
 
4.研究期間 平成8年度〜平成12年度
 
5.研究プロジェクト番号 96P00105
 
6.研究プロジェクト名 誘電体薄膜の複合構造制御による高性能化と機能変換の多様化

7.プロジェクト・リーダー
プロジェクト・リーダー名 フリガナ 所属部局名 職名
増田 陽一郎 マスダ ヨウイチロウ 工学部 教授

8.コア・メンバー

コア・メンバー名 フリガナ 所属研究機関名・所属部局名 職名
塚本 桓世 ツカモト タケヨ 東京理科大学・理学部 教授
塩嵜 忠 シオサキ タダシ 奈良先端科学技術大学院大学・物質創成科学研究科 教授
岡田 益男 オカダ マスオ 東北大学大学院・工学研究科 教授

9.研究協力者

研究協力者名 フリガナ 所属研究機関名・所属部局名 職名
藤田 成隆 フジタ シゲタカ 八戸工業大学・工学部 教授
菅井 弘 スガイ ヒロシ (財)電気磁気材料研究所 主任研究員
増本 博 マスモト ヒロシ 東北大学金属材料研究所 助教授

10.研究成果の概要

本プロジェクトでは、物理的手法としてRFマグネトロンスパッタ法及びパルスレーザデポジション(PLD)法、また化学的手法としてMOCVD法、ゾルゲル法、ラングミュア・ブロジェット(LB)法を用いて、それぞれ原子・分子レベルでの精緻な構造設計を行い、化学量論性および微構造制御に優れたPb(Zr,Ti)O3(PZT)、SrBi2Ta2O9(SBT)、BaTiO3(BT)系強誘電体薄膜などの合成に成功した。さらに、学術的な見地から強誘電性発現および劣化メカニズムの精密な解析を行うとともに、将来の半導体産業への応用的見地から、高機能性強誘電体薄膜デバイスの合成技術の開発も行った。得られた主な成果を列挙すると、(1)HfO2およびZrO2の微量添加によりBT強誘電体特性の大幅な向上を図った環境低負荷型無鉛系BTHZ薄膜の開発、(2)反強誘電体-強誘電体複合構造による新規な強誘電体積層薄膜の創出、(3)LB法による膜厚30nm以下の超薄膜合成技術の開発、(4)薄膜成長初期の島状構造における強誘電性発現の実証、(5)強誘電体薄膜の分極疲労メカニズムの精密解析および熱刺激電流測定評価法の考案、(6)新規な酸化物薄膜電極の合成と分極疲労特性の大幅な改善、(7)X線分析法による精密な薄膜定量分析手法の確立、(8)高集積強誘電体メモリ作製を目指した電子線誘起反応による微細加工プロセスの開発、(9)強誘電体薄膜と半導体プロセスとの整合性を考慮したSi系バッファ層の合成技術の開発、(10)マイクロアクチュエーター応用を目指した強誘電体薄膜の圧電応答の精密評価、(11)強誘電体薄膜の焦電性を利用した光伝導・強誘電体メモリデバイスの考案と試作評価、が挙げられる。

11.キーワード

(1)強誘電体薄膜、(2)複合変換機能、(3)微構造制御
(4)強誘電体メモリ、(5)超薄膜、(6)分極疲労
(7)酸化物電極、(8)圧電性、(9)焦電性

12.研究発表(印刷中も含む)

[雑誌論文]
著者名 論文標題
S. Okamura, G. Fujihashi, Y. Yagi, S. Ando, K. Mori and T. Tsukamoto Fabrication of Ferroelectric Bi4Ti3O12 Thin Films by Electron Beam Heating Evaporation
雑誌名 発行年 ページ
Trans. Mater. Res. Soc. Jpn. 20 1996 615-618

著者名 論文標題
M. Shimizu and T. Shiosaki Growth and Characterization of Pb-based Ferroelectric Oxide Thin Films by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 401 1996 129-138

著者名 論文標題
M. Shimizu, S. Hyodo, H. Fujisawa and T. Shiosaki Step Coverage Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Grown by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 433 1996 201-206

著者名 論文標題
W. Wang, Z. Chen, M. Adachi and A. Kawabata Preparation of Zr-Rich PZT and La-Doped PbTiO3 Thin Films by RF Magnetron Sputtering and Their Properties for Pyroelectric Applications
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics 12 1996 251-261

著者名 論文標題
Y. Masuda, Y. Kidachi, A. Baba, H. Masumoto, T. Goto and T. Hirai Ferroelectric and Optical Properties of Ba2NaNb5O15 Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
J. Korean Phys. Soc. 29 1996 S664-667

著者名 論文標題
T. Hidaka, T. Maruyama, M. Saitoh, N. Mikoshiba, M. Shimizu, T. Shiosaki, L. A. Wills, R. Hiskes, S. A. Dicarolis and J. Amano Formation and Observation of 50 nm Polarized Domains in PbZr1-xTixO3 Thin Films Using Scanning Probe Microscope
雑誌名 発行年 ページ
Appl. Phys. Lett. 68 1996 2358-2359

著者名 論文標題
H. Fujisawa, M. Shimizu, T. Horiuchi, T. Shiosaki and K. Matsushige Dependence of Crystalline Structure and Lattice Parameters on Film Thickness in PbTiO3/Pt/MgO Epitaxial Structure
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 35 1996 4913-4918

著者名 論文標題
T. Iijima and N. Sanada Ferroelectric Properties of Sol-Gel Derived PbTiO3 Type Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 35 1996 4930-4932

著者名 論文標題
S. Ando, Y. Nakamura, T. Togami, S. Okamura, A. Baba, Y. Masuda and T. Tsukamoto Ba2NaNb5O15 Thin Films Prepared by Pulsed Laser Ablation Method
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 35 1996 4956-4959

著者名 論文標題
R. C. Ibrahim, T. Sakai, T. Nishida, T. Horiuchi, T. Shiosaki and K. Matsushige Characterization of Niobium-Doped Lead Titanate Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 35 1996 4995-4998

著者名 論文標題
Y. Masuda and A. Baba Oxidation and Heat Treatment Effect on Crystal Structure and Electrical Conductivity of Ferroelectric Pb(Zr, Ti)O3 Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 35 1996 5002-5007

著者名 論文標題
S. Okamura, Y. Yagi, K. Mori, A. Kakimi, S. Ando and T. Tsukamoto Crystallization of Precursor Micropatterns of Ferroelectric Formed by an Electron Beam
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 35 1996 5224-5228

著者名 論文標題
S. Okamura, Y. Yagi, K. Mori, A. Kakimi, S. Ando and T. Tsukamoto Micro Patterning of Ferroelectric Bi4Ti3O12 Using Electron-Beam-Induced Reaction of Metal Octylate Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 35 1996 6579-6583

著者名 論文標題
G. Fujihashi, A. Kakimi, S. Ando, S. Okamura, T. Tsuchiya and T. Tsukamoto Characterizations of Ba2NaNb5O15 Thin Films prepared by Sol-Gel Method
雑誌名 発行年 ページ
J. Ceram. Soc. Jpn. 105 1997 449-451

著者名 論文標題
Y. Masuda, H. Masumoto, A. Baba, Y. Kidachi and T. Hirai Ferroelectric Properties of Ba2NaNb5O15 Films by RF Magnetron Sputtering Method
雑誌名 発行年 ページ
Ferroelectrics 195 1997 297-304

著者名 論文標題
M. Shimizu, H. Fujisawa and T. Shiosaki Effects of La and Nb Modification on the Electrical Properties of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics 14 1997 69-75

著者名 論文標題
H. Fujisawa, M. Shimizu and T. Shiosaki Characterization of Pb(Zr, Ti)O_3 Thin Films by MOCVD Using the Total Reflection X-ray Diffraction Method
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics 15 1997 1-8

著者名 論文標題
H. Okino, M. Shimizu, T. Horiuchi, T. Shiosaki, and K. Matsushige A study of the defect structures in MOCVD-Grown PbZr_xTi_1-xO_3 thin films by thermally stimulated current measurements
雑誌名 発行年 ページ
Intergrated Ferroelectrics 18 1997 63-70

著者名 論文標題
H. Fujisawa, M. Shimizu, H. Niu, T. Horiuchi, and T. Shioaki Simultaneous observation of the surface topography and current flow of PZT thin films using an atomic force microscope
雑誌名 発行年 ページ
Intergrated Ferroelectrics 18 1997 71-78

著者名 論文標題
S. Okamura, K. Mori, T. Tsukamoto and T. Shiosaki Fabrication of Ferroelectric Bi_4Ti_3O_12 Thin Films and Micropatterns by Means of Chemical Solution Decomposition and Electron Beam Irradiation
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics 18 1997 311-318

著者名 論文標題
M. Shimizu, H. Fujisawa and T. Shiosaki MOCVD of Pb-based Ferroelectric Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
J. Cryst. Growth 174 1997 464-472

著者名 論文標題
渡津 章・増本 博・増田 陽一郎・平井 敏雄 電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッター法で作製された c 軸配向 Ba_2NaNb_5O_15膜の光学特性
雑誌名 発行年 ページ
J. Ceram. Soc. Jpn. 105 1997 687-689

著者名 論文標題
渡津 章・増本 博・増田 陽一郎・馬場 明・後藤 孝・平井 敏雄 ECR プラズマスパッタ法による Ba_2NaNb_5O_15膜の作製と諸性質
雑誌名 発行年 ページ
粉体および粉末冶金 44 1997 86-89

著者名 論文標題
V. Tura, D. Richinski, L. Mitoseriu, C. Harnagea, S. Ando, T. Tsukamoto and M. Okuyama Simulation of Switching Properties of Ferroelectrics on the Basis of Dipole Lattice Model
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 36 1997 2183-2191

著者名 論文標題
M. Shimizu, S. Hyodo, H. Fujisawa, H. Niu and T. Shiosaki Step Coverage Characteristics of Pb(Zr, Ti)O_3 Thin Films on Various Electrode Materials by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 36 1997 5808-5811

著者名 論文標題
T. Iijima, S. Kudo and N. Sanada Effect of Film Thickness on Ferroelectric Properties of Sol-Gel-Derived Pb(Ti, Al)O_3 Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 36 1997 5829-5833

著者名 論文標題
Y. Masuda, S. Fujita, A. Baba, H. Masumoto, K. Nagata and T. Hirai Synthesis of BaTiO_3 Thin Films Substituted with Hafnium and Zirconium by a Laser Ablation Method Using the Fourth-Harmonic Wave of a YAG Laser
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 36 1997 5834-5839

著者名 論文標題
S. Okamura, Y. Yagi, K. Mori, G. Fujihashi, S. Ando and T. Tsukamoto Control of the Orientation of Ferroelectric Bi_4Ti_3O_12 Thin Films by Multi-step Metal Organic Decom-position Process
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 36 1997 5889-589

著者名 論文標題
S. Ando, K. Konakahara, S. Okamura and T. Tsukamoto Effect of Laser Energy Density on the Fabrication of Ba_2NaNb_5O_15 Thin Films by Pulsed Laser Ablation
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 36 1997 5925-5929

著者名 論文標題
H. Fujisawa, M. Shimizu, T. Horiuchi, T. Shiosaki and K. Matsushige Investigation of the Current Path of Pb(Zr, Ti)O_3 Thin Films Using an Atomic Forth Microscope with Simultaneous Current Measurement
雑誌名 発行年 ページ
Appl. Phys. Lett. 71 1997 416-418

著者名 論文標題
M. Shimizu, H. Fujisawa, S. Hyodo, S. Nakashima, H. Niu, H. Okino and T. Shiosaki Effects of Sputtered Ir and IrO_2 Electrodes on the Properties of PZT Thin Films Deposited by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 493 1998 159-164

著者名 論文標題
Y. Masuda, Y. Kidachi, S. Fujita, H. Masumoto and T. Hirai Nonlinear Optical Properties of Ba_2NaNb_5O_15 Thin Films Prepared by Nd^+3: YAG(λ=266nm)Laser Ablation
雑誌名 発行年 ページ
Ferroelectrics 218 1998 209-221

著者名 論文標題
S. Ando, K. Konakahara and T. Tsukamoto Laser Energy Density and O2 Gas Pressure Effects on the Fabrication of Ba2NaNb5O15 Thin Films by Pulsed Laser Ablation
雑誌名 発行年 ページ
Ferroelectrics 218 1998 223-232

著者名 論文標題
T. Nishida, T. Shiosaki, T. Horiuchi and K. Matsushige Preparation of LiNbO3 Thin Film by Bias Sputtering
雑誌名 発行年 ページ
Ferroelectrics 219 1998 9-13

著者名 論文標題
T. Shiosaki and M. Shimizu Pb-based and Bi-Based Ferroelectric Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
J. Korean Phys. Soc. 32 1998 S1316-1320

著者名 論文標題
M. Shimizu, H. Fujisawa, S. Hyodo, S. Nakashima, H. Niu, H. Okino and T. Shiosaki Pb(Zr, Ti)O3 Thin Film Deposition on Ir and IrO2 Electrodes by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
J. Korean Phys. Soc. 32 1998 S1349-1352

著者名 論文標題
Y. Masuda, S. Fujita, A. Baba, H. Masumoto, T. Hirai and K. Nagata BaTi0.91(Hf0.5Zr0.5)0.09 O3 Thin Films Prepared by Nd3+: YAG (1=266 nm) Laser Ablation
雑誌名 発行年 ページ
J. Korean Phys. Soc. 32 1998 S1372-1374

著者名 論文標題
T. Nishida, T. Horiuhi, T. Shiosaki and K. Matsushige Evaluations of In-plane Orientation of LiNbO3 Films Using an Energy Dispersive Total-Reflection X-ray Diffractometer
雑誌名 発行年 ページ
J. Korean Phys. Soc. 32 1998 S1622-1624

著者名 論文標題
T. Iijima, J. Onagawa and N. Sanada Effect of Film Thickness on Ferroelectric Properties of Sol-Gel Derived Pb(Ti, Nb)O3 Type Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics 20 1998 129-140

著者名 論文標題
W. Wang, Z. Chen, M. Adachi and A. Kawabata Preparation of Zr-Rich Pb(ZrxTi1-x)O3 Thin Films and Their Properties
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics 20 1998 191-203

著者名 論文標題
T. Nishida, K. Ishida, T. Horiuhi, T. Shiosaki and K. Matsusige In-Plane Observations of LiNbO3 Thin Films by Energy Dispersive Total-Reflection X-Ray Diffractometer
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics 20 1998 243-244

著者名 論文標題
T. Tsukamoto and S. Ando Ferroelectric Bi4Ti3O12 Thin Films with c-axis Orientation
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics 20 1998 257-258

著者名 論文標題
H. Fujisawa, S. Hyodo, K. Jitsui, M. Shimizu, H. Niu, H. Okino and T. Shiosaki Electrical properties of PZT Thin Films on Ir/IrO2 Bottom Electrodes by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Integr. Ferroelctr. 21 1998 107-114

著者名 論文標題
Y. Fukuda, K. Numata, K. Aoki, A. Nishimura, G. Fujihashi, S. Okamura, S. Ando and T. Tsukamoto Effects of Postannealing in Oxygen Ambient on Leakage Properties (Ba, Sr)TiO3 Thin-Film Capacitors
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1998 L453-L455

著者名 論文標題
R. C. Ibrahim, T. Horiuchi, T. Shiosaki and K. Matsushige Highly Oriented Nb-Doped Lead Titanate Thin Films by Reactive Sputtering:Fabrication and Structure Analyses
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 37 1998 4539-4543

著者名 論文標題
W. Wang, T. Karaki and M. Adachi Preparation and Electrical Properties of Sol-Gel Derived Zr-rich Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1998 4910-4913

著者名 論文標題
H. Sugai, N. Hoshi, T. Iijima and H. Masumoto Preparation of Lead Titanate Thin Films Using Langmuir-Blodgett Method
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 37 1998 5118-5122

著者名 論文標題
H. Fujisawa, M. Yoshida, M. Shimizu and H. Niu Influence of the Purity of Source Precursors on the Electrical Properties of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 37 1998 5132-5136

著者名 論文標題
H. Okino, Y. Toyoda, M. Shimizu, T. Horiuchi, T. Shiosaki and K. Matsushige Thermally Stimulated Current and Polarization Fatigue in Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 37 1998 5137-5140

著者名 論文標題
S. Ando, K. Konakahara, S. Okamura and T. Tsukamoto Growth of Ba2NaNb5O15 Thin films on MgO(100) by the Pulsed Laser Ablation
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 37 1998 5211-5214

著者名 論文標題
H. Fujisawa, S. Nakashima, M. Shimizu and H. Niu Control of Grain Size of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films by MOCVD and the Effect of Size on the Electrical Properties
雑誌名 発行年 ページ
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 541 1999 327-332

著者名 論文標題
M. Shimizu, M. Yoshida, H. Fujisawa and H. Niu Effects of the Purity of Metalorganic Sources on the Electrical Properties of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 541 1999 411-416

著者名 論文標題
Y. Masuda, S. Fujita, T. Nishida, H. Masumoto, T. Hirai Degradation of Perovskite Pb(Zr, Ti) Thin Films Fabricated by Pulsed Laser Ablation
雑誌名 発行年 ページ
Bull. Hachinohe Inst. Tech. 18 1999 59-65

著者名 論文標題
A. Watazu, F. Usui, H. Masumoto, Y. Masuda, A. Baba, T. Goto and T. Hirai Preparation of c-axis Oriented Ba2NaNb5O15 Thin Films on Sapphire (012) Substrate and their Properties (in Japanese)
雑誌名 発行年 ページ
J. Jpn. Soc. Powder and Powder Metall. 46 1999 909-913

著者名 論文標題
S. Okamura and T. Shiosaki Properties of Micropatterned Ferroelectric Thin Films Fabricated by Electron Beam Exposed Chemical Solution Deposition Process
雑誌名 発行年 ページ
Ferroelectrics 232 1999 15-24

著者名 論文標題
S. Ando, S. Okamura and T. Tsukamoto Preparation of Ba2NaNb5O15 Thin Films by Pulsed Laser Ablation Method and Their Characterization
雑誌名 発行年 ページ
J. Eur. Ceram. Soc. 19 1999 1369-1372

著者名 論文標題
J. Thongrueng, T. Tsuchiya, Y. Masuda, S. Fujita and K. Nagata Properties and Degradation of Polarization Reversal of Soft BaTiO3 Ceramics for Ferroelectric Thin-Film Devices
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1999 5309-5313

著者名 論文標題
H. Sugai, T. Iijima and H. Masumoto Preparation of Lead Titanate Ultrathin Film Using Langmuir-Blodgett Film as Precursor
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1999 5322-5325

著者名 論文標題
T. Nishida, S. Okamura, T. Shiosaki, S. Fujita and Y. Masuda Preparation of La-modified Lead Titanate Film Capacitors and Influence of SrRuO3 Electrodes on the Electrical Properties
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1999 5337-5341

著者名 論文標題
S. Okamura, S. Miyata, Y. Mizutani, T. Nishida and T. Shiosaki Conspicuous Voltage Shift and Asymmetry Depolarization of Pb-Based Ferroelectric Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1999 5364-5367

著者名 論文標題
H. Okino, T. Nishikawa, M. Shimizu, T. Horiuchi and K. Matsushige Electrical Properties oh Highly Strained Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on MgO(100)
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1999 5388-5391

著者名 論文標題
H. Fujisawa, S. Nakashima, K. Kaibara, M. Shimizu and H. Niu Size Effects of Epitaxial and Polycrystalline Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1999 5392-5396

著者名 論文標題
T. Futakuchi, Y. Matsui and M. Adachi Preparation of PbZrO3-PbTiO3-Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 Thick Films by Screen Printing
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1999 5528-5530

著者名 論文標題
W. Wang, T. Fujii, T. Karaki and M. Adachi Preparation and Electrical Properties of Rhombohedral Pb(ZrxTi1-x)O3 Thin Films by RF Magnetron Sputtering Method
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 38 1999 6807-6811

著者名 論文標題
M. Shimizu, M. Yoshida, H. Fujisawa and H. Niu Effects of the Purity of Ti Source Precursor on the Electrical Properties of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Prepared by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
J. Korean Phys. Soc. 35 1999 S1529-1531

著者名 論文標題
W. Wang, M. Fukui, T. Fujii, T. Karaki ans M. Adachi Electrical Properties of Ziruconium-Rich PZT Thin Films by RF Magnetron Sputterin
雑誌名 発行年 ページ
J. Korean Phys. Soc. 35 1999 S1532-1536

著者名 論文標題
H. Masumoto, S. Hiboux and P. Muralt Preparation of La1-xSrxCoO3 Electrodes for Ferroelectric Thin Films by RF Magnetron Sputtering
雑誌名 発行年 ページ
Ferroelectrics 225 1999 335-341

著者名 論文標題
Y. Masuda, S. Fujita and T. Nishida Temperature and Voltage Dependance in PZT Ferroelectric Thin Film Capacitors
雑誌名 発行年 ページ
Ferroelectrics 232 1999 59-64

著者名 論文標題
K. Nagata, J. Thongrueng, T. Tsuchiya, Y. Masuda and S. Fujita Properties of Soft BaTiO3 Ceramics for Ferroelectric Thin Film Devices
雑誌名 発行年 ページ
Key Eng. Mater. 169-170 1999 119-122

著者名 論文標題
T. Iijima, N. Sanada, K. Hiyama, H. Tsuboi and M. Okada Preparation of Al Doped PZT Thin Films Using a Sol-Gel Method
雑誌名 発行年 ページ
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 596 2000 223-228

著者名 論文標題
M. Shimizu, H. Fujisawa and H. Niu Thickness Dependence of Crystalline and Electrical Properties of PZT Ultrathin Films Grown on SrRuO3/SrTiO3 by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 596 2000 259-264

著者名 論文標題
H. Fujisawa, M. Shimizu, H. Niu, K. Honda and S. Ohtani Observations of Domain Structure at Initial Growth Stage of PbTiO3 Thin Films Grown by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 596 2000 321-326

著者名 論文標題
Y. Masuda, S. Fujita, T. Nishida Preparation and Electrical Properties of PZT Thin Film Capacitors for Ferreelectric Random Access Memory
雑誌名 発行年 ページ
Bull. Hachinohe Inst. Tech. 19 2000 41-49

著者名 論文標題
N. Ikeda, A. Kamegawa, H. Takamura and M. Okada Dielectric Properties of Nb-Doped PbZrO3 Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Materials Transactions, JIM 41 2000 589-592

著者名 論文標題
E. Buixaderas, S. Kamba, J. Petzelt, M. Wada and S. Ando Infrared Spectroscopy of Ba2NaNb5O15
雑誌名 発行年 ページ
Ferrolectrics 239 2000 17-24

著者名 論文標題
M. Shimizu, S. Nakashima, K. Kaibara, H. Fujisawa and H. Niu Effects of Film Thickness and Grain Size on the Electrical Properties of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Prepared by MOCVD
雑誌名 発行年 ページ
Ferrolectrics 241 2000 183-190

著者名 論文標題
W. Wang, T. Karaki and M. Adachi Principle of Photoconductive Ferroelectric Memory and Preliminary Experiments
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 39 2000 4853-4859

著者名 論文標題
H. Kakemoto, K. Kakimoto, S. Fujita and Y. Masuda Preparation and Ferroelectric Properties of Ti-Site Substituted BaTiO3 Thin Film
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 39 2000 5374-5378

著者名 論文標題
J. Thongrueng, K. Nishio, K. Nagata and T. Tsuchiya Preparation and Characterization of Ferroelectric BaTi0.91(Hf0.5, Zr0.5)0.09O3 thin Films by Sol-Gel Process Using Titanium and Zirconium Alkoxides
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 39 2000 5393-5398

著者名 論文標題
T. Iijima, He, Z. Wang, K. Hiyama, H. Tsuboi, M. Okada Ferroelectric Properties of Al-doped Lead Titanate Ziruconate Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition Process
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 39 2000 5426-5428

著者名 論文標題
H. Fujisawa, K. Morimoto, M. Shimizu, H. Niu, K. Honda and S Ohtani Observation of Island Structures at the Initial Growth Stage of PbZrxTi1-xO3 Thin films Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 39 2000 5446-5450

著者名 論文標題
M. Kobune, O. Matsuura, T. Matsuzaki, A. Mineshige, S. Fhjii, H. Fujisawa, M. Shimizu and H. Niu Effects of Pt/SrRuO3 Top Electrodes on Ferroelectric Properties of Epitaxial (Pb, La)(Zr, Ti)O3 Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 39 2000 5451-5455

著者名 論文標題
S. Okamura, M. Takaoka, T. Nishida and T. Shiosaki Increase in Switching Charge of Ferroelectric SrBi2Ta2O9 Thin Films with Polarization Reversal
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 39 2000 5481-5484

著者名 論文標題
M. Yamaguchi, K. Hiraki, T. Nagatomo and Y. Masuda Preparation and Properties of Bi2SiO5/Si Structures
雑誌名 発行年 ページ
Jpn. J. Appl. Phys. 39 2000 5512-5516

著者名 論文標題
J. Thongrueng, K. Nishio, Y. Watanabe, K. Nagata and T. Tsuchiya Preparation and Properties of Soft BaTiO3 Thin Films by Sol-Gel Process
雑誌名 発行年 ページ
Key Eng. Mater. 181-182 2000 85-88

著者名 論文標題
H. Kakemoto, S. Fujita and Y. Masuda Characterization of BaTi0.91(Hf0.5, Zr0.5)0.09O3 Films Fabricated by Laser Ablation Technique
雑誌名 発行年 ページ
Key Eng. Mater. 181-182 2000 89-92

著者名 論文標題
柿本健一・掛本博文・増田陽一郎 YAG レーザーデポジションによる PZT 薄膜合成過程におけるバルクターゲット-薄膜間の組成変動の評価
雑誌名 発行年 ページ
J. Ceram. Soc. Jpn. 109 2001 152-158

著者名 論文標題
T. Shiosaki, S. Okamura and T. Nishida Influence of Substrate, Thermal, Electric and Aging Treatment on P-E Hysteresis of Ferroelectric Thin Films
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics, to be appeared      

著者名 論文標題
S. Okamura, T. Hayama, T. Kobayashi, T. Nishida and T. Shiosaki Electrical Properties of Patterned Ferroelectric Thin Films Fabricated by Electron-Beam-Induced Micropatterning Process
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics, to be appeared      

著者名 論文標題
T. Nishida, M. Takaoka, S. Okamura and T. Shiosaki Low Temperature Fabrication of Ferroelectric SrBi2Ta2O9 Thin Films by Chemical Solution Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics, to be appeared      

著者名 論文標題
Y. Masuda, S. Fujita and H. Kakemoto Preparation and Ferroelectric Properties of BaTiO3 Related Thin Film
雑誌名 発行年 ページ
Bull. Hachinohe Inst. Tech., to be appeared      

著者名 論文標題
K. Kakimoto, S. Fujita and Y. Masuda Ferroelectric SrxBa1-xNb2O6 Synthesized by YAG Laser Deposition
雑誌名 発行年 ページ
Bull. Hachinohe Inst. Tech., to be appeared      

著者名 論文標題
Y. Masuda, H. Kakemoto and S. Fujita Ferroelectric properties of BaTi0.91(Hf0.5, Zr0.5)0.09O3 film synthesized by pulsed laser deposition method
雑誌名 発行年 ページ
Applied Physics A, accepted for publication      

著者名 論文標題
T. Iijima, H. Nafe and F. Aldinger Ferroelectric Properties of Al and Nb Doped PbTiO3 Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition Process
雑誌名 発行年 ページ
Integrated Ferroelectrics, accepted for publication      

著者名 論文標題
T. Iijima, B. P. Zhang and N. Sanada Fabrication of Texture Controlled Lead Zirconate Titanate Film Actuator
雑誌名 発行年 ページ
J. Adv. Sci., accepted for publication      

著者名 論文標題
K. Kakimoto, H. Kakemoto, A. Baba, S. Fujita and Y. Masuda Synthesis and Dielectric Properties of SrxBa1-xNb2O6 Formed by YAG Laser Ablation
雑誌名 発行年 ページ
J. Eur. Ceram. Soc., accepted for publication.      


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